[發(fā)明專利]電極具有空隙層和凸起結(jié)構(gòu)的體聲波諧振器、濾波器及電子設(shè)備有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201911027015.6 | 申請日： | 2019-10-26 |
| 公開（公告）號： | CN111010123B | 公開（公告）日： | 2021-06-01 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 龐慰;徐洋;郝龍;楊清瑞;張孟倫 | 申請（專利權(quán)）人： | 諾思（天津）微系統(tǒng)有限責任公司 |
| 主分類號： | H03H9/02 | 分類號： | H03H9/02;H03H9/15;H03H9/17;H03H9/13 |
| 代理公司： | 北京金誠同達律師事務(wù)所 11651 | 代理人： | 湯雄軍 |
| 地址： | 300462 天津市*** | 國省代碼： | 天津;12 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 電極 具有 空隙 凸起 結(jié)構(gòu) 聲波 諧振器 濾波器 電子設(shè)備 | ||
1.一種體聲波諧振器，包括：
基底；
聲學鏡；
底電極；
頂電極；和
壓電層，設(shè)置在底電極與頂電極之間，
其中：
頂電極、底電極、聲學鏡和壓電層在所述諧振器的厚度方向上的重疊區(qū)域限定所述諧振器的有效區(qū)域；
所述頂電極包括空隙層、在引腳端彼此電連接的第一頂電極和第二頂電極，在諧振器的厚度方向上所述空隙層形成在第一頂電極與第二頂電極之間，第一頂電極與壓電層形成面接觸；且
所述第一頂電極在有效區(qū)域內(nèi)在有效區(qū)域的邊緣設(shè)置有凸起結(jié)構(gòu)，所述凸起結(jié)構(gòu)的頂面高出有效區(qū)域中第一頂電極的上表面。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的諧振器，其中：
所述凸起結(jié)構(gòu)的高度在第一頂電極厚度的0.1-2倍的范圍內(nèi)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的諧振器，其中：
所述凸起結(jié)構(gòu)的至少部分頂面與第二頂電極在有效區(qū)域內(nèi)的頂面齊平。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的諧振器，其中：
所述凸起結(jié)構(gòu)在諧振器的橫向方向上的外緣與有效區(qū)域的邊緣重合。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的諧振器，其中：
所述凸起結(jié)構(gòu)由第二頂電極形成。
6.根據(jù)權(quán)利要求1-4中任一項所述的諧振器，其中：所述第一頂電極與第二頂電極在頂電極的非引腳端彼此電連接；
所述凸起結(jié)構(gòu)包括所述第一頂電極與第二頂電極在頂電極的引腳端形成的第一凸起，以及所述第一頂電極與第二頂電極在頂電極的非引腳端形成的第二凸起。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的諧振器，其中：
所述第一頂電極與第二頂電極在非引腳端的邊緣彼此對齊。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的諧振器，其中：
所述第二頂電極的非引腳端部分覆蓋所述第一頂電極的非引腳端的一部分且與壓電層的上表面面接觸。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的諧振器，其中：
所述第二凸起為臺階狀凸起結(jié)構(gòu)。
10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的諧振器，其中：
所述第二頂電極的上表面還敷設(shè)有附加電極層，在諧振器橫向方向上，所述附加電極層設(shè)置在第一凸起與第二凸起之間。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的諧振器，其中：
所述附加電極層的厚度在200? -10000?的范圍內(nèi)，所述凸起結(jié)構(gòu)的高度在第一頂電極的厚度的0.1-2倍的范圍內(nèi)。
12.根據(jù)權(quán)利要求6所述的諧振器，其中：
所述第一頂電極在引腳端設(shè)置有橋結(jié)構(gòu)，所述第一頂電極在非引腳端設(shè)置有懸翼結(jié)構(gòu)，所述橋結(jié)構(gòu)和所述懸翼結(jié)構(gòu)限定所述有效區(qū)域的邊界；且
所述懸翼結(jié)構(gòu)的頂面以及所述橋結(jié)構(gòu)的頂面設(shè)置有凸層結(jié)構(gòu)，所述凸層結(jié)構(gòu)在有效區(qū)域內(nèi)與第一頂電極接觸的部分形成所述凸起結(jié)構(gòu)。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的諧振器，其中：
所述空隙層在諧振器的橫向方向上設(shè)置在第一凸起與第二凸起之間。
14.根據(jù)權(quán)利要求12所述的諧振器，其中：
所述空隙層延伸到橋結(jié)構(gòu)的頂面的至少一部分。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的諧振器，其中：
所述第二頂電極的非引腳端在諧振器的橫向方向上與所述懸翼結(jié)構(gòu)間隔開且在諧振器的厚度方向上與第一頂電極間隔開。
16.根據(jù)權(quán)利要求14所述的諧振器，其中：
所述空隙層延伸到所述懸翼結(jié)構(gòu)的頂面的至少一部分以及橋結(jié)構(gòu)的頂面的至少一部分。
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