[發明專利]薄膜太陽能電池及其制備方法在審
| 申請號： | 201910526427.8 | 申請日： | 2019-06-18 |
| 公開（公告）號： | CN110459630A | 公開（公告）日： | 2019-11-15 |
| 發明（設計）人： | 郭邐達;葉亞寬;趙樹利;楊立紅 | 申請（專利權）人： | 北京鉑陽頂榮光伏科技有限公司 |
| 主分類號： | H01L31/0352 | 分類號： | H01L31/0352;H01L31/0392;H01L31/18 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 100176北京市大興區北京經*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 氧化鋅膜層 硫化鋅膜層 緩沖層 薄膜太陽能電池 氧原子 襯底 硫原子 帶隙漸變 光譜響應 交疊設置 量子效率 依次設置 轉換效率 反射率 藍光區 透過率 帶隙 無鎘 制備 | ||
1.一種薄膜太陽能電池，其特征在于，所述薄膜太陽能電池包括：
襯底；
設置在所述襯底上的緩沖層，所述緩沖層包括交疊設置的氧化鋅膜層和硫化鋅膜層；
其中，所述緩沖層至少包括：依次設置在所述襯底上的第一氧化鋅膜層、第一硫化鋅膜層、第二氧化鋅膜層以及第二硫化鋅膜層，且所述第一氧化鋅膜層中氧原子占所述第一氧化鋅膜層和所述第一硫化鋅膜層中氧原子和硫原子總量的含量，大于，所述第二氧化鋅膜層中氧原子占所述第二氧化鋅膜層和第二硫化鋅膜層中氧原子和硫原子總量的含量。
2.根據權利要求1所述的薄膜太陽能電池，其特征在于，所述緩沖層中交疊設置的氧化鋅膜層和硫化鋅膜層滿足以下任一條件：
所述第一氧化鋅膜層中氧原子的數量大于所述第二氧化鋅膜層中氧原子的數量，所述第一硫化鋅膜層中硫原子的數量等于所述第二硫化鋅膜層中硫原子的數量；
所述第一氧化鋅膜層中氧原子的數量等于所述第二氧化鋅膜層中氧原子的數量，所述第一硫化鋅膜層中硫原子的數量小于所述第二硫化鋅膜層中硫原子的數量；
所述第一氧化鋅膜層中氧原子的數量大于所述第二氧化鋅膜層中氧原子的數量，所述第一硫化鋅膜層中硫原子的數量小于所述第二硫化鋅膜層中硫原子的數量；
所述第一氧化鋅膜層中氧原子的數量大于所述第二氧化鋅膜層中氧原子的數量，所述第一硫化鋅膜層中硫原子的數量大于所述第二硫化鋅膜層中硫原子的數量；
所述第一氧化鋅膜層中氧原子的數量小于所述第二氧化鋅膜層中氧原子的數量，所述第一硫化鋅膜層中硫原子的數量小于所述第二硫化鋅膜層中硫原子的數量。
3.根據權利要求2所述的薄膜太陽能電池，其特征在于，所述氧原子的數量或所述硫原子的數量包括摻雜濃度或者所在膜層的厚度。
4.根據權利要求1-3任一權項所述的薄膜太陽能電池，其特征在于，所述第一氧化鋅膜層與所述襯底接觸。
5.根據權利要求4所述的薄膜太陽能電池，其特征在于，所述緩沖層還包括：
設置在所述第一硫化鋅膜層和第二氧化鋅膜層之間的第三氧化鋅膜層和第三硫化鋅膜層，所述第三氧化鋅膜層與所述第一硫化鋅膜層接觸，所述第三硫化鋅膜層夾設于所述第三氧化鋅膜層和所述第二氧化鋅膜層之間；
所述第三氧化鋅膜層中氧原子占所述第三氧化鋅膜層和第三硫化鋅膜層中氧原子和硫原子總量的含量，大于所述第二氧化鋅膜層中氧原子占所述第二氧化鋅膜層和第二硫化鋅膜層中氧原子和硫原子總量的含量，且小于所述第一氧化鋅膜層中氧原子占所述第一氧化鋅膜層和第一硫化鋅膜層中氧原子和硫原子總量的含量；或者
所述第三氧化鋅膜層中氧原子占所述第三氧化鋅膜層和第三硫化鋅膜層中氧原子和硫原子總量的含量，等于，所述第二氧化鋅膜層中氧原子占所述第二氧化鋅膜層和第二硫化鋅膜層中氧原子和硫原子總量的含量；或者
所述第三氧化鋅膜層中氧原子占所述第三氧化鋅膜層和第三硫化鋅膜層中氧原子和硫原子總量的含量，等于，所述第一氧化鋅膜層中氧原子占所述第一氧化鋅膜層和第一硫化鋅膜層中氧原子和硫原子總量的含量。
6.一種薄膜太陽能電池的制備方法，其特征在于，該方法包括：
提供一襯底；
在所述襯底上依次形成第一氧化鋅膜層、第一硫化鋅膜層、第二氧化鋅膜層以及第二硫化鋅膜層；其中，
所述第一氧化鋅膜層中氧原子占所述第一氧化鋅膜層和第一硫化鋅膜層中氧原子和硫原子總量的含量，大于，所述第二氧化鋅膜層中氧原子占所述第二氧化鋅膜層和第二硫化鋅膜層中氧原子和硫原子總量的含量。
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H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射，或微粒輻射敏感的，并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的，或者專門適用于通過這樣的輻射進行電能控制的半導體器件；專門適用于制造或處理這些半導體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的，例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內或其上形成的，一個或多個電光源，如場致發光光源在結構上相連的，并與其電光源在電氣上或光學上相耦合的
