[發明專利]一種四結太陽能電池及其制作方法在審

申請號：	201910361710.X	申請日：	2019-04-30
公開（公告）號：	CN110085704A	公開（公告）日：	2019-08-02
發明（設計）人：	李俊承;吳真龍;何勝;邢永祿;郭文輝	申請（專利權）人：	揚州乾照光電有限公司
主分類號：	H01L31/18	分類號：	H01L31/18;H01L31/0304;H01L31/0352;H01L31/0687
代理公司：	北京集佳知識產權代理有限公司 11227	代理人：	王寶筠
地址：	225101***	國省代碼：	江蘇;32
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摘要：
搜索關鍵詞：	太陽能電池電池鍵合處光電轉換效率短波光譜高能粒子減少材料歐姆接觸鍵合層接觸層透光性保證短波鍵合失配吸收正向制備反射制作生長
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【權利要求書】：

1.一種四結太陽能電池的制作方法，其特征在于，包括：

提供一獨立電池及正向生長的GaInP/InGaAs/Ge三結電池，所述獨立電池包括襯底和位于所述襯底上的InGaN電池；

在所述InGaN電池背離所述襯底一側沉積第一ITO接觸層，及在所述GaInP/InGaAs/Ge三結電池的GaInP頂電池一側沉積第二ITO接觸層；

在所述第一ITO接觸層背離所述襯底一側形成第一IZO鍵合層，及在所述第二ITO接觸層背離所述GaInP/InGaAs/Ge三結電池一側形成第二IZO鍵合層；

將所述第一IZO鍵合層和所述第二IZO鍵合層鍵合形成IZO鍵合層；

去除所述襯底；

在所述InGaN電池背離所述IZO鍵合層一側形成正面電極結構，及在所述GaInP/InGaAs/Ge三結電池背離所述IZO鍵合層一側形成背面電極結構。

2.根據權利要求1所述的四結太陽能電池的制作方法，其特征在于，在所述第一ITO接觸層背離所述襯底一側形成第一IZO鍵合層，及在所述第二ITO接觸層背離所述GaInP/InGaAs/Ge三結電池一側形成第二IZO鍵合層，包括：

采用溶膠凝膠法，在所述第一ITO接觸層背離所述襯底一側形成第一IZO鍵合層，及在所述第二ITO接觸層背離所述GaInP/InGaAs/Ge三結電池一側形成第二IZO鍵合層。

3.根據權利要求2所述的四結太陽能電池的制作方法，其特征在于，所述溶膠凝膠法包括第一階段和第二階段：

在所述第一階段，旋涂IZO溶膠，轉速為300r/min-600r/min，且持續時間為20s-30s；

在所述第二階段，轉速調整為1500r/min-1800r/min，且持續時間為70s-80s，而后采用150℃-180℃氮氣烘箱或120℃-150℃的熱板進行烘烤10min-15min，使所述IZO溶膠轉換為IZO凝膠后，采用240℃-260℃氮氣烘箱烘烤50min-70min，形成所述第一IZO鍵合層和所述第二IZO鍵合層。

4.根據權利要求2所述的四結太陽能電池的制作方法，其特征在于，將所述第一IZO鍵合層和所述第二IZO鍵合層鍵合形成IZO鍵合層，包括：

對所述第一IZO鍵合層背離所述InGaN電池一側表面、及對所述第二IZO鍵合層背離所述GaInP/InGaAs/Ge三結電池一側表面進行拋光處理；

對所述第一IZO鍵合層背離所述InGaN電池一側表面、及對所述第二IZO鍵合層背離所述GaInP/InGaAs/Ge三結電池一側表面進行活化處理；

采用直接鍵合技術將所述第一IZO鍵合層和所述第二IZO鍵合層鍵合形成IZO鍵合層。

5.根據權利要求4所述的四結太陽能電池的制作方法，其特征在于，采用直接鍵合技術將所述第一IZO鍵合層和所述第二IZO鍵合層鍵合形成IZO鍵合層，包括：

在所述活化處理后的2min內將所述第一IZO鍵合層和所述第二IZO鍵合層直接貼合；

在鍵合機內將所述第一IZO鍵合層和所述第二IZO鍵合層鍵合形成IZO鍵合層。

6.根據權利要求5所述的四結太陽能電池的制作方法，其特征在于，在鍵合機內將所述第一IZO鍵合層和所述第二IZO鍵合層鍵合形成IZO鍵合層，其中，所述鍵合機內工藝參數首先調整壓力為1800kgf-7200kgf，溫度為140℃-160℃，壓合時間為300s-500s；

而后升壓為12500kgf-11500kgf，其中，升壓時間300s，壓合時間1800s，溫度為245℃-255℃；

最后調整壓力為1800kgf-7200kgf，溫度為245℃-255℃，壓合時間600s。

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