本發明提供一種刻蝕液、刻蝕組合液以及刻蝕方法。刻蝕液包括雙氧水、第一緩沖液、第一螯合劑、調節劑、醇類物質、第一抑制劑以及去離子水。刻蝕組合液包括上述刻蝕液和補給液，其中補給液包括溶解劑、第二緩沖液、第二螯合劑以及第二抑制劑。該方案中刻蝕液不包含氟，避免了對基板的腐蝕，提高了顯示面板的良品率。

技術領域

本發明涉及刻蝕技術領域，特別是涉及一種刻蝕液、刻蝕組合液以及刻蝕方法。

背景技術

隨著智能移動終端的普及，顯示面板技術得到廣泛應用，其發展越來越迅速。

在顯示面板制程中，通常采用銅金屬制成柵極線、數據線等走線，以傳遞各種信號，實現顯示面板的顯示功能。具體的，可以在基板上涂布銅薄膜，然后對銅薄膜進行圖案化，形成各種金屬線。

其中，多余部分的銅需要采用刻蝕液進行刻蝕，然而現有的刻蝕液一般含有氟，對基板中的玻璃材料具有腐蝕作用，造成顯示面板的良品率降低。

發明內容

本發明的目的在于提供一種刻蝕液、刻蝕組合液及刻蝕方法，可以提高顯示面板的良品率。

本發明實施例提供了一種刻蝕液，其包括：雙氧水、第一緩沖液、第一螯合劑、調節劑、醇類物質、第一抑制劑以及去離子水。

在一實施例中，所述雙氧水在所述刻蝕液中的質量百分比范圍為15％-25％；所述第一緩沖液在所述刻蝕液中的質量百分比范圍為15％-20％；所述第一螯合劑在所述刻蝕液中的質量百分比范圍為1％-10％；所述調節劑在所述刻蝕液中的質量百分比范圍為1％-15％；所述醇類物質在所述刻蝕液中的質量百分比范圍為0.1％-5％；所述第一抑制劑在所述刻蝕液中的質量百分比范圍為0.01％-1％；所述去離子水在所述刻蝕液中的質量百分比范圍為24％-67.89％。

在一實施例中，所述第一緩沖液包括醋酸銨-鹽酸-氨溶液、醋酸-乙醇-氫氧化銨、冰醋酸-氨水緩沖液以及枸杞酸-乙醇-氨水緩沖液中的一種或多種。

在一實施例中，所述第一螯合劑包括殼聚糖、8-羥基喹啉以及酒石酸鉀銨中的一種或多種。

在一實施例中，所述調節劑包括2-氨基-2甲基-1-丙醇、二正丁胺、二乙胺、苯胺以及二苯胺中的一種或多種。

在一實施例中，所述醇類物質包括聚乙二醇、聚丙乙烯二醇、乙醇以及丙二醇中的一種或多種。

在一實施例中，所述第一抑制劑包括3-氨基-1,2,4-三唑、6-硝基苯并咪唑以及2-氨基噻唑中的一種或多種。

本發明實施例還提供了一種刻蝕組合液，包括如上所述的刻蝕液以及補給液；

所述補給液包括溶解劑、第二緩沖液、第二螯合劑以及第二抑制劑。

在一實施例中，所述第二緩沖液相對所述刻蝕液的質量百分比范圍為0.1-15％；所述第二螯合劑相對所述刻蝕液的質量百分比范圍為0.01％-3％；所述溶解劑相對所述刻蝕液的質量百分比范圍為1％-15％；所述第二抑制劑相對所述刻蝕液的質量百分比范圍為0.001％-0.1％。

本發明實施例還提供了一種刻蝕方法，使用如上所述的刻蝕組合液進行刻蝕，其包括：

提供一基板；

通過所述刻蝕液對所述基板進行刻蝕；

檢測所述刻蝕液中銅離子的濃度；

當所述銅離子的濃度處于預設濃度范圍時，將所述補給液加入所述刻蝕液，繼續對所述基板進行刻蝕。

本發明實施例的刻蝕液、刻蝕組合液以及刻蝕方法中的刻蝕液不含氟，避免了氟對基板的腐蝕，提高了顯示面板的良品率。