[發明專利]感光性層疊體和其制造方法在審
| 申請號： | 201910342786.8 | 申請日： | 2019-04-26 |
| 公開（公告）號： | CN110426917A | 公開（公告）日： | 2019-11-08 |
| 發明（設計）人： | 井上浩輔 | 申請（專利權）人： | 旭化成株式會社 |
| 主分類號： | G03F7/00 | 分類號： | G03F7/00;G03F7/11 |
| 代理公司： | 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 劉新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 層疊體 感光性樹脂組合物層 感光性層疊體 支撐薄膜 感光性樹脂層疊體 未曝光部 形成工序 曝光部 剝離 感光性樹脂組合物 制造 覆蓋薄膜 基板上層 曝光工序 異物 基板 上層 曝光 | ||
1.一種感光性層疊體的制造方法，其包括如下工序：
第1層疊體形成工序，在基板上層疊感光性樹脂層疊體，形成所述基板與所述感光性樹脂層疊體的層疊體即第1層疊體，所述感光性樹脂層疊體具備支撐薄膜和形成于所述支撐薄膜上的包含感光性樹脂組合物的感光性樹脂組合物層；
曝光工序，從所述第1層疊體剝離所述支撐薄膜，將剝離了所述支撐薄膜的感光性樹脂組合物層進行曝光，形成具有曝光部和未曝光部的感光性樹脂組合物層；和，
第2層疊體形成工序，在所述具有曝光部和未曝光部的感光性樹脂組合物層上層疊覆蓋薄膜，形成第2層疊體。
2.根據權利要求1所述的感光性層疊體的制造方法，其包括將所述第2層疊體卷取為卷狀的第2層疊體卷制造工序。
3.根據權利要求1或2所述的感光性層疊體的制造方法，其中，所述覆蓋薄膜為聚乙烯薄膜。
4.根據權利要求1或2所述的感光性層疊體的制造方法，其中，所述覆蓋薄膜為脫模處理過的聚對苯二甲酸乙二醇酯(PET)薄膜。
5.根據權利要求1～4中任一項所述的感光性層疊體的制造方法，其中，
所述第1層疊體形成工序包括如下工序：從所述感光性樹脂層疊體剝離覆蓋薄膜，且，
所述第2層疊體形成工序的所述覆蓋薄膜為所述第1層疊體形成工序中從所述感光性樹脂層疊體剝離的覆蓋薄膜。
6.根據權利要求1～5中任一項所述的感光性層疊體的制造方法，其中，所述第2層疊體形成工序包括如下工序：用以30℃～150℃的范圍內的溫度加熱了的熱輥按壓所述覆蓋薄膜，從而在所述具有曝光部和未曝光部的感光性樹脂組合物層上層疊所述覆蓋薄膜。
7.根據權利要求1所述的感光性層疊體的制造方法，其中，所述第2層疊體形成工序包括將多個所述第2層疊體的基板彼此重疊的工序。
8.根據權利要求1～7中任一項所述的感光性層疊體的制造方法，其中，所述第1層疊體形成工序包括在所述基板的兩面上層疊所述感光性樹脂層疊體的工序。
9.根據權利要求1～8中任一項所述的感光性層疊體的制造方法，其中，所述基板為包含金屬層的基板。
10.根據權利要求1～9中任一項所述的感光性層疊體的制造方法，其中，所述基板為包含銅層的基板。
11.一種抗蝕圖案的形成方法，其包括如下的顯影工序：從通過權利要求1～10中任一項所述的感光性層疊體的制造方法得到的感光性層疊體引出所述第2層疊體，將所述覆蓋薄膜剝離，將所述具有曝光部和未曝光部的感光性樹脂組合物層進行顯影。
12.一種感光性層疊體，其具備：
基板；
感光性樹脂組合物層，其形成于所述基板的至少一個面，且具有未曝光部和曝光部；和，
覆蓋薄膜，其設置于所述具有未曝光部和曝光部的感光性樹脂組合物層上。
13.根據權利要求12所述的感光性層疊體，其中，所述覆蓋薄膜為聚乙烯薄膜。
14.根據權利要求12所述的感光性層疊體，其中，所述覆蓋薄膜為脫模處理過的聚對苯二甲酸乙二醇酯(PET)薄膜。
15.根據權利要求12～14中任一項所述的感光性層疊體，其中，所述具有未曝光部和曝光部的感光性樹脂組合物層形成于所述基板的兩個面。
16.根據權利要求12～14中任一項所述的感光性層疊體，其中，將多個所述感光性層疊體以多個所述基板接觸的方式進行堆疊。
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