4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基板翻轉(zhuǎn)裝置，其特征在于，

所述導(dǎo)軌、所述引導(dǎo)板以及所述支承板分別被分割成兩部分，

分割成兩部分的所述導(dǎo)軌進(jìn)行組合而成為圓形，并且以使一方的導(dǎo)軌配置于所述移送位置側(cè)的方式分別被分割成兩部分的所述支承板支承，

分割成兩部分的所述引導(dǎo)板相對(duì)于進(jìn)行組合而成為圓形的所述導(dǎo)軌，以在所述移送位置與遠(yuǎn)離所述移送位置的位置之間相互能夠旋轉(zhuǎn)的方式組合，

所述第一吸附部與所述第二吸附部分別與分割成兩部分的所述引導(dǎo)板連接，

所述輸送機(jī)構(gòu)僅與分割成兩部分的所述支承板中的配置于所述移送位置側(cè)的支承板連結(jié)，選擇性移送位于所述移送位置側(cè)且經(jīng)由所述導(dǎo)軌以及所述引導(dǎo)板與所述支承板連接的吸附部。