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[發(fā)明專利]PVA刷子的清洗方法及清洗裝置有效

專利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 201880061024.4 申請(qǐng)日: 2018-09-20
公開(公告)號(hào): CN111132577B 公開(公告)日: 2022-09-13
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 樸真求;李正桓;濱田聰美 申請(qǐng)(專利權(quán))人: 株式會(huì)社荏原制作所;漢陽(yáng)大學(xué)ERICA產(chǎn)學(xué)協(xié)力團(tuán)
主分類號(hào): A46D9/04 分類號(hào): A46D9/04;A46D1/045;A46B17/06
代理公司: 北京市金杜律師事務(wù)所 11256 代理人: 楊宏軍
地址: 日本*** 國(guó)省代碼: 暫無信息
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: pva 刷子 清洗 方法 裝置
【權(quán)利要求書】:

1.PVA刷子的清洗方法,其包括:

準(zhǔn)備PVA刷子的階段;

用包含有機(jī)物的清洗溶液去除所述PVA刷子內(nèi)的硅氧烷(siloxane)化合物的階段;及

對(duì)所述PVA刷子施加振動(dòng)以去除所述PVA刷子內(nèi)的雜質(zhì)的階段,

將去除所述PVA刷子內(nèi)的硅氧烷(siloxane)化合物的階段及對(duì)所述PVA刷子施加振動(dòng)以去除所述PVA刷子內(nèi)的所述雜質(zhì)的階段定義為單元工序(unit process),

所述PVA刷子的清洗方法還包括對(duì)去除了所述硅氧烷化合物及所述雜質(zhì)的所述PVA刷子的摩擦特性及彈性特性進(jìn)行測(cè)定的階段,

在所測(cè)定的所述PVA刷子的摩擦特性及彈性特性在標(biāo)準(zhǔn)范圍以下的情況下,重復(fù)進(jìn)行所述單元工序,

所述有機(jī)物為THF或TMAH,所述清洗溶液包含濃度在10wt%以上且小于50wt%的所述有機(jī)物,所述PVA是指聚乙烯醇縮醛。

2.如權(quán)利要求1所述的PVA刷子的清洗方法,其中,在對(duì)所述PVA刷子施加振動(dòng)以去除所述PVA刷子內(nèi)的所述雜質(zhì)的階段,對(duì)所述PVA刷子施加10分鐘振動(dòng)的情況下,從所述PVA刷子去除的所述雜質(zhì)的量具有最大值。

3.如權(quán)利要求1所述的PVA刷子的清洗方法,其包括將所述PVA刷子內(nèi)的所述硅氧烷化合物及所述雜質(zhì)同時(shí)去除的步驟。

4.如權(quán)利要求1所述的PVA刷子的清洗方法,其中,對(duì)于所述PVA刷子內(nèi)的所述硅氧烷化合物及所述雜質(zhì)而言,在去除所述硅氧烷化合物后再去除所述雜質(zhì)、或者在去除所述雜質(zhì)后再去除所述硅氧烷化合物。

5.如權(quán)利要求1所述的PVA刷子的清洗方法,其中,所述硅氧烷化合物為PDMS。

6.如權(quán)利要求1所述的PVA刷子的清洗方法,其中,對(duì)所述PVA刷子施加振動(dòng)以去除所述PVA刷子內(nèi)的所述雜質(zhì)的階段包括使用顆粒測(cè)定儀對(duì)傳達(dá)所述振動(dòng)后的PVA刷子中的顆粒狀雜質(zhì)進(jìn)行測(cè)定的過程。

7.如權(quán)利要求6所述的PVA刷子的清洗方法,其中,所述顆粒測(cè)定儀包含單顆粒光學(xué)傳感技術(shù)(SPOS,single particle optical sizing)、激光衍射法(laser diffraction)、動(dòng)態(tài)光散射法(dynamic lightscattering)及聲衰減光譜法(acoustic attenuationspectroscopy)中的至少任1者。

8.如權(quán)利要求1所述的PVA刷子的清洗方法,其中,對(duì)所述PVA刷子施加振動(dòng)以去除所述PVA刷子內(nèi)的所述雜質(zhì)的階段包括使用有機(jī)物測(cè)定儀對(duì)傳達(dá)所述振動(dòng)后的PVA刷子的有機(jī)性雜質(zhì)進(jìn)行測(cè)定的過程。

9.如權(quán)利要求8所述的PVA刷子的清洗方法,其中,所述有機(jī)物測(cè)定儀包含紫外線檢測(cè)器(ultraviolet detector)、電導(dǎo)率檢測(cè)器(conductivity analyzer)、電流電荷檢測(cè)器(current charge detector)、NDIR檢測(cè)器(nondispersive infrared gas analyzer)及總有機(jī)碳分析儀(total organic carbon analyzer)中的至少任1者。

10.如權(quán)利要求1所述的PVA刷子的清洗方法,其中,所述清洗溶液包含具有與所述PVA刷子的RED為小于1的范圍的所述有機(jī)物,所述RED為相對(duì)能量差。

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