本發明的課題在于，提供即使被處理液的不揮發性成分析出也能夠發揮優異的處理效率的溶液處理裝置和溶液處理方法。本發明的溶液處理裝置(1A)的特征在于，其具備：第1氣液分離單元(10)，其將被處理液(L1)加熱、使蒸氣餾出并且使所保持的濃縮液的一部分出罐；第2氣液分離單元(20)，其將從前述第1氣液分離單元(10)出罐的濃縮液加熱、使蒸氣餾出并且使所保持的濃縮液的一部分出罐；以及，控制單元(30)，其控制前述第1氣液分離單元(10)，以使在前述第1氣液分離單元(10)中被處理液(L1)中含有的不揮發性成分不析出，前述第2氣液分離單元(20)的作為將濃縮液加熱的部位且與濃縮液接觸的接液部位對不揮發性成分呈耐附著性。

技術領域

本發明涉及從在有機溶劑中混合有不揮發性成分的被處理液中將有機溶劑分離的溶液處理裝置和溶液處理方法。

背景技術

有機溶劑存在使樹脂等對象物溶解的溶解劑、使其分散的分散劑的用途。此外，有機溶劑在液晶基板、半導體集成電路的制造工序中也作為被稱為光致抗蝕劑的感光性樹脂的剝離劑使用。

而且，在這種用途中使用的有機溶劑多數情況下會去除雜質并進行再循環，對于有機溶劑的再循環，通常應用蒸餾這一雜質分離方法。

關于將有機溶劑通過蒸餾進行再循環的技術，提出了各種技術，例如專利文獻1中公開了一種抗蝕劑再生方法，其特征在于，其具備：將從抗蝕劑涂布裝置排出的抗蝕劑與有機溶劑的混合液回收的工序；使前述有機溶劑揮發來將前述混合液濃縮的工序；將所揮發的前述有機溶劑液化的工序；以及，通過將有機溶劑加入前述濃縮混合液來將前述混合液的粘度調節至所期望的值的工序。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開平09-082602號公報

發明內容

發明要解決的問題

然而，如專利文獻1所公開的現有方法存在溶解在有機溶劑中的樹脂等不揮發性成分析出、所析出的不揮發性成分附著(固著、粘附等)在用于蒸發有機溶劑的蒸發器的接液部位之虞。其結果，現有方法會產生蒸發器的加熱性能的經時降低，無法發揮提高溶劑的回收率、防止管道內的隔熱損失、節能這些所期待的效果。

作為針對該問題的對策，可舉出在不揮發性成分不析出的條件下進行有機溶劑的分離作業的方法，該對策由于有機溶劑的處理效率(餾出率)變差，并且廢棄物的量增加，因此在經濟上、環境上也稱不上優選的方法。

因此，本發明的課題在于，提供即使被處理液的不揮發性成分析出也能夠發揮優異的處理效率的溶液處理裝置和溶液處理方法。

用于解決問題的方案

作為用于解決前述課題的手段，本發明的溶液處理裝置的特征在于，該溶液處理裝置從含有有機溶劑和不揮發性成分的被處理液中將有機溶劑以餾出蒸氣的形式分離，該裝置具備：第1氣液分離單元，其將被處理液加熱、使蒸氣餾出并且使所保持的濃縮液的一部分出罐；第2氣液分離單元，其將從前述第1氣液分離單元出罐的濃縮液加熱、使蒸氣餾出并且使所保持的濃縮液的一部分出罐；以及，控制單元，其控制前述第1氣液分離單元，以使在前述第1氣液分離單元中被處理液中含有的不揮發性成分不析出，前述第2氣液分離單元的作為將濃縮液加熱的部位且與濃縮液接觸的接液部位對不揮發性成分呈耐附著性。