[發明專利]基板收納容器有效
| 申請號: | 201880004500.9 | 申請日: | 2018-06-12 |
| 公開(公告)號: | CN110870054B | 公開(公告)日: | 2023-10-24 |
| 發明(設計)人: | 松鳥千明 | 申請(專利權)人: | 未來兒股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/673 | 分類號: | H01L21/673 |
| 代理公司: | 北京信慧永光知識產權代理有限責任公司 11290 | 代理人: | 鹿屹;李雪春 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 收納 容器 | ||
本發明提供一種基板收納容器,其中,插銷機構包括:卡合用插銷(32);卡合用插銷升降凸輪(35),通過向卡合用插銷(32)進退的方向進退,使卡合用插銷(32)相對于卡合凹部進退,在卡合凹部內使卡合用插銷(32)接近或遠離容器主體的另一端部;以及轉動凸輪(31),卡合用插銷升降凸輪(35)具有卡合用插銷連接部(357),所述卡合用插銷連接部(357)通過向卡合用插銷(32)接近卡合凹部的方向移動,使卡合用插銷(32)與卡合凹部卡合,此后使卡合用插銷(32)接近容器主體的另一端部。
技術領域
本發明涉及在收納、保管、搬運、運輸由半導體晶片等構成的基板等時使用的基板收納容器。
背景技術
以往,作為收納由半導體晶片構成的基板并用于在工廠內的工序中搬運的基板收納容器,具備容器主體和蓋體的結構已被公眾所知(例如,參照專利文獻1~專利文獻3)。
容器主體的一端部具有形成了容器主體開口部的開口周緣部。容器主體的另一端部具有封閉的筒狀的壁部。在容器主體內形成有基板收納空間。基板收納空間由壁部包圍形成,能收納多個基板。蓋體相對于開口周緣部可裝拆,能封閉容器主體開口部。側方基板支承部在基板收納空間內以成對的方式設置于壁部。當未用蓋體封閉容器主體開口部時,側方基板支承部能夠在使相鄰的基板彼此以規定的間隔分開排列的狀態下支承多個基板的邊緣部。
在作為蓋體的一部分的、在封閉容器主體開口部時與基板收納空間相對的部分設有前部保持構件。當用蓋體封閉容器主體開口部時,前部保持構件能夠支承多個基板的邊緣部。此外,后側基板支承部以與前部保持構件成對的方式設于壁部。后側基板支承部能夠支承多個基板的邊緣部。當用蓋體封閉容器主體開口部時,后側基板支承部通過與前部保持構件協同動作支承多個基板,由此在使相鄰的基板彼此以規定的間隔分開排列的狀態下保持多個基板。
現有技術文獻
專利文獻
專利文獻1:日本專利公報特許第4716671號
專利文獻2:日本專利公報特許第4739033號
專利文獻3:美國專利公報第9514971號
發明內容
本發明要解決的技術問題
在以往的蓋體設有插銷機構。插銷機構設置在蓋體的左右兩端部附近,具備:能從蓋體的上邊朝向上的方向突出的兩個上側插銷部;以及能從蓋體的下邊朝向下的方向突出的兩個下側插銷部。上側插銷和下側插銷通過與形成于容器主體的插銷卡合凹部卡合,由此蓋體被固定在容器主體的開口周緣部。
在蓋體的外表面設有操作部。操作部具有插銷轉動構件。通過使插銷轉動構件轉動,與設于插銷轉動構件的凸輪部抵接的插銷臂相對于插銷轉動構件進退,作為插銷臂的前端部分的上側插銷和下側插銷成為從蓋體的上邊、下邊突出的狀態,或成為不從上邊、下邊突出的狀態。
可是,在以往的基板收納容器中,在插銷轉動構件轉動期間,插銷轉動構件的凸輪部總是與插銷臂相對滑動。此外,插銷臂不僅通過凸輪部相對于插銷轉動構件進退,而且進行將蓋體推入容器主體的內側的所謂升降動作(推入動作)。因此,需要用于使插銷轉動構件轉動的規定的轉動力,理想的是用更小的轉動力使插銷轉動構件轉動。
本發明的目的是提供一種能夠用更小的轉動力使蓋體的操作部的插銷轉動構件轉動的基板收納容器。
解決技術問題的技術方案
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





