[實用新型]一種自封氣快速均勻化CVI致密炭/炭坩堝的裝置有效
| 申請號： | 201822071025.7 | 申請日： | 2018-12-10 |
| 公開（公告）號： | CN209243243U | 公開（公告）日： | 2019-08-13 |
| 發明（設計）人： | 張靈玉;蘇超;閔明;趙上元;張旭輝 | 申請（專利權）人： | 西安超碼科技有限公司 |
| 主分類號： | C30B15/10 | 分類號： | C30B15/10;C30B29/06 |
| 代理公司： | 西安創知專利事務所 61213 | 代理人： | 譚文琰 |
| 地址： | 710065 陜西省西安市高新區錦*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 致密 炭/炭坩堝 預制體 底板 石墨圓筒 本實用新型 均勻化 爐內罐 倒扣 自封 進氣口 同一豎直線 密封安裝 水平安裝 碳源氣體 致密加工 導流板 進氣管 均勻性 爐蓋 豎向 沉積 | ||
1.一種自封氣快速均勻化CVI致密炭/炭坩堝的裝置，包括由爐外罐和爐內罐(2)組成的化學氣相沉積爐、水平安裝在爐內罐(2)底部的底板(3)以及密封安裝在爐內罐(2)上部的爐蓋(10)，所述爐蓋(10)的中部開設有出氣口(10-1)，其特征在于：所述底板(3)上設置有至少一個用于形成豎向沉積通道的石墨圓筒(6)，所述石墨圓筒(6)與底板(3)相互垂直，每個所述石墨圓筒(6)內均設置有一個進氣管(1)，所述進氣管(1)由下至上穿過底板(3)后插入至石墨圓筒(6)內部，所述石墨圓筒(6)內由下至上設置有多個倒扣在一起的需致密炭/炭坩堝預制體(9)，多個需致密炭/炭坩堝預制體(9)布設在同一豎直線上，位于最下面的一個需致密炭/炭坩堝預制體(9)倒扣在底板(3)上，每個需致密炭/炭坩堝預制體(9)的進氣口均設置有導流板(7)，所述導流板(7)與底板(3)相互平行。
2.按照權利要求1所述的一種自封氣快速均勻化CVI致密炭/炭坩堝的裝置，其特征在于：所述進氣管(1)插入至石墨圓筒(6)內部的長度小于導流板(7)與底板(3)之間的垂直距離。
3.按照權利要求1所述的一種自封氣快速均勻化CVI致密炭/炭坩堝的裝置，其特征在于：所述進氣管(1)呈豎向布設，所述石墨圓筒(6)以及位于其內部的需致密炭/炭坩堝預制體(9)、導流板(7)和進氣管(1)均布設在同一豎直線上。
4.按照權利要求1所述的一種自封氣快速均勻化CVI致密炭/炭坩堝的裝置，其特征在于：所述導流板(7)通過多個支撐塊(8)固定在底板(3)上、或所述導流板(7)通過多個支撐塊(8)固定在位于其下部的一個需致密炭/炭坩堝預制體(9)上。
5.按照權利要求4所述的一種自封氣快速均勻化CVI致密炭/炭坩堝的裝置，其特征在于：所述支撐塊(8)的高度為30mm～100mm，所述進氣管(1)插入至石墨圓筒(6)內部的長度小于支撐塊(8)的高度。
6.按照權利要求1所述的一種自封氣快速均勻化CVI致密炭/炭坩堝的裝置，其特征在于：所述底板(3)的底部安裝有吊裝架，所述底板(3)和吊裝架上均開設有至少一個供進氣管(1)穿過的通孔。
7.按照權利要求6所述的一種自封氣快速均勻化CVI致密炭/炭坩堝的裝置，其特征在于：所述底板(3)為圓板，所述吊裝架包括設置在爐內罐(2)底部的圓形底座(4-1)和多個設置在圓形底座(4-1)上的吊桿(4-2)，所述圓形底座(4-1)與爐內罐(2)呈同軸布設且其側壁與爐內罐(2)的內壁之間的縫隙寬度為100mm～300mm。
8.按照權利要求1所述的一種自封氣快速均勻化CVI致密炭/炭坩堝的裝置，其特征在于：所述石墨圓筒(6)的內壁與需致密炭/炭坩堝預制體(9)的外壁之間的縫隙寬度為10mm～100mm，所述導流板(7)為圓板且其側壁與炭/炭坩堝預制體(9)內壁之間的縫隙寬度為10mm～100mm。
9.按照權利要求1所述的一種自封氣快速均勻化CVI致密炭/炭坩堝的裝置，其特征在于：所述底板(3)的厚度為30mm～80mm。
10.按照權利要求1所述的一種自封氣快速均勻化CVI致密炭/炭坩堝的裝置，其特征在于：所述石墨圓筒(6)內位于最下面的一個需致密炭/炭坩堝預制體(9)與底板(3)之間設置有石墨墊塊(5)。
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