本實用新型提供了一種普車加工不規則坯料外徑的裝夾裝置。其包括前裝夾圓板和后裝夾圓板，前裝夾圓板兩個面分別是普車裝夾面和坯料裝夾面，后裝夾圓板一側為坯料裝夾面，另一側為普車連接面，普車連接面中心設與普車頂尖配合使用的圓孔，前裝夾圓板和后裝夾圓板之間裝夾坯料的“三明治”裝夾裝置，消除了裝夾偏心，避免了普車直接裝夾不牢靠造成的安全隱患，也避免了多次裝夾找正的繁瑣，保證了裝夾可靠，減少了裝夾時間。

技術領域

本實用新型屬于金屬材料加工和微電子材料制造裝備中的輔助加工工裝領域，特別涉及一種普車加工不規則坯料外徑的裝夾裝置。

背景技術

隨著半導體行業的不斷發展，對大尺寸圓形靶材需求量快速增大，該類靶材特點為：零件呈圓盤形，外徑大，重量大。一般的靶材生產加工過程主要包括壓力加工如鍛造，軋制，退火等獲得需求的內部組織和機加工獲得要求的外形尺寸。實際生產過程中，壓力加工后的坯料呈現為外圓不規則的圓餅狀，需要經過普車車外徑為規則圓后才能進行后續機加工。

目前常見的幾種普車加工不規則坯料外徑的方法有以下幾種：①直接裝夾車外徑。這種方法需要多次裝夾找出坯料的幾何圓心，并逐次普車逐次測量外徑尺寸，費時費力。且對于外徑加工量不大，外徑又不圓的坯料，偏心極有可能出現外徑尺寸已到但仍沒車圓的情況，造成靶材報廢。同時對于尺寸大重量大的靶材，由于只能裝夾厚度的一半以下，存在裝夾不牢靠，加工過程中存在安全隱患。②直接裝夾 +頂尖輔助車外徑。這種可以消除裝夾不牢靠的安全隱患，但仍存在其他的多次找正多次測量，和偏心報廢的情況。③水刀切圓后再裝夾。這個可以消除偏心沒車圓報廢的情況，但水刀切圓需要另外的設備和時間。并且這里需要說明，以上3種方法都是需要兩面裝夾的，這是由于外緣加工需要先裝夾一半厚度后車另外一半厚度，然后換另一側裝夾再車余下部分的方法。對于厚度較小的坯料的普車加工時存在裝夾困難和加工時平面度超差的問題。因此，目前急需一種普車加工不規則坯料外徑的裝夾裝置，可以盡可能擴寬普車加工厚度的范圍，并保證裝夾牢靠，裝夾和測量次數盡量少，消除偏心報廢，最好不需要另外設備投入。

實用新型內容

針對現有技術不足，本實用新型提供了一種普車加工不規則坯料外徑的裝夾裝置。

一種普車加工不規則坯料外徑的裝夾裝置，其包括前裝夾圓板和后裝夾圓板，前裝夾圓板兩個面分別是普車裝夾面和坯料裝夾面，后裝夾圓板一側為坯料裝夾面，另一側為普車連接面，普車連接面中心設與普車頂尖配合使用的圓孔。后裝夾圓板為臺階圓盤，其大尺寸面一側為坯料裝夾面，小尺寸面一側為普車連接面。坯料裝夾面和坯料裝夾面均進行表面處理增加裝夾的摩擦力。所述前裝夾圓板尺寸為 D1×H1，所述后裝夾圓板是臺階圓盤，后裝夾圓板臺階圓盤的大尺寸一側定義為第一層臺階，第一層臺階外徑為D21，高度為H21，后裝夾圓板臺階圓盤的小尺寸一側定義為第二層臺階，第二層臺階外徑為D22，高度為H22，后裝夾圓板的高度為H2，H2＝H21+H22，后裝夾圓板臺階圓盤的尺寸為(D21-D22)×H2。所述前裝夾圓板的直徑D1和后裝夾圓板的大外徑D21均小于等于坯料加工要求的尺寸。所述前裝夾圓板的直徑D1為10-500mm，高度H1為6-20mm，所述后裝夾圓板的第一層臺階外徑D21為10-500mm，后裝夾圓板的第二層臺階外徑D22為10-400mm，高度H2為12-25mm，其中H21的高度為6-15mm，所加工坯料的直徑范圍為11-550mm，厚度范圍為 0.5-35mm。所述前裝夾圓板的坯料裝夾面和所述后裝夾圓板的坯料裝夾面表面處理的方式為機加工紋路，噴砂或噴涂。所述后裝夾圓板普車連接面中心的圓孔的尺寸要與普車頂尖的尺寸配合，直徑公差為正公差，深度小于H2。普車上三爪工裝和前裝夾圓板的普車裝夾面直接連接，前裝夾圓板的坯料裝夾面緊挨著坯料，坯料的另一側與后裝夾圓板臺階圓盤大尺寸面的坯料裝夾面直接接觸，后裝夾圓板普車連接面和普車上的頂尖裝置通過后裝夾圓板普車連接面中心的圓孔配合連接。

本實用新型的有益效果為：