本實用新型實施例提供一種圖形補償裝置、圖形補償系統、曝光機及彩膜工藝設備，屬于光學成像領域。該圖形補償裝置包括：第一光線變換模塊，用于改變平行入射至第一光線變換模塊的光線的方向；第二光線變換模塊，用于改變第一光線變換模塊的出射光線的方向；以及第三光線變換模塊，用于將入射至第三光線變換模塊的光線平行射出，其中，第三光線變換模塊的出射光線形成的圖形相對于第一光線變換模塊的入射光線形成的圖形放大或縮小，以實現圖形補償。藉此，實現了調整平行入射的光線，實現圖形補償，擴大了圖形補償裝置的應用范圍。

技術領域

本實用新型涉及光學成像領域，具體地涉及圖形補償裝置、圖形補償系統、曝光機及彩膜工藝設備。

背景技術

TFT-LCD彩膜工藝設備中的NSK曝光機僅有平面鏡，或者通過驅動平面鏡做不同程度的彎曲來達到調整平行光的目的。這種調整平行光的方式對平面鏡的材質有一定的要求，不便于應用。

實用新型內容

本實用新型實施例的目的是提供一種圖形補償裝置、圖形補償系統、曝光機及彩膜工藝設備，其可解決或至少部分解決上述問題。

為了實現上述目的，本實用新型的一個方面提供一種圖形補償裝置，該圖形補償裝置包括：第一光線變換模塊，用于改變平行入射至所述第一光線變換模塊的光線的方向；第二光線變換模塊，所述第一光線變換模塊的出射光線為所述第二光線變換模塊的入射光線，用于改變所述第一光線變換模塊的出射光線的方向；以及第三光線變換模塊，所述第二光線變換模塊的出射光線為所述第三光線變換模塊的入射光線，用于將入射至所述第三光線變換模塊的光線平行射出，其中，所述第三光線變換模塊的出射光線形成的圖形相對于所述第一光線變換模塊的入射光線形成的圖形放大或縮小，以實現圖形補償。

可選地，該圖形補償裝置還包括：移動模塊，與所述第一光線變換模塊、所述第二光線變換模塊和所述第三光線變換模塊連接；以及控制模塊，與所述移動模塊連接，用于通過所述移動模塊控制所述第一光線變換模塊、所述第二光線變換模塊和所述第三光線變換模塊中的至少一者在光線的傳播方向上移動以改變所述第一光線模塊與所述第二光線變換模塊之前的距離和/或所述第二光線變換模塊與所述第三光線變換模塊之間的距離。

可選地，所述第一光線變換模塊和/或所述第三光線變換為凹透鏡。

可選地，所述第二光線變換模塊為凸透鏡。

此外，本實用新型的另一方面提供一種圖形補償系統，該圖形補償系統包括：至少一個第一圖形補償裝置，被設置成對橫軸方向上的入射光線形成的圖形進行補償；和/或至少一個第二圖形補償裝置，被設置成對縱軸方向上的入射光線形成的圖形進行補償；其中，所述至少一個第一圖形補償裝置和至少一個第二圖形補償裝置為上述的圖形補償裝置，所述橫軸和所述縱軸為垂直于光線傳播方向的平面上的兩個互相垂直的坐標軸。

另外，本實用新型的另一方面還提供一種曝光機，該曝光機包括上述的圖形補償系統。

另外，本實用新型的另一方面還提供一種膜工藝設備，該彩膜工藝設備包括上述的曝光機。

通過上述技術方案，利用光線轉換模塊對平行入射的光線的方向進行調整，使得從圖形補償裝置射出的平行光線相對于平行入射的光線調整，從圖形補償裝置射出的平行光線形成的圖形相對于平行入射的光線形成的圖形放大或縮小，以實現圖形補償，該圖形補償裝置對光線轉換模塊的材質沒有具體限制，使得圖形補償裝置應用廣泛，擴大了圖形補償裝置的應用范圍。

本實用新型的其它特征和優點將在隨后的具體實施方式部分予以詳細說明。

附圖說明

附圖是用來提供對本實用新型實施例的進一步理解，并且構成說明書的一部分，與下面的具體實施方式一起用于解釋本實用新型實施例，但并不構成對本實用新型實施例的限制。在附圖中：

圖1是本實用新型一實施例提供的圖形補償裝置的結構示意圖；