本實(shí)用新型涉及一種羅茨螺桿真空機(jī)組，包括螺桿真空泵、一級羅茨真空泵、二級羅茨真空泵、控制柜，一級羅茨真空泵連通二級羅茨真空泵，二級羅茨真空泵連通螺桿真空泵，螺桿真空泵出氣口對外排氣。一級羅茨真空泵和二級羅茨真空泵為氣體循環(huán)冷卻式羅茨真空泵。控制柜控制整個真空機(jī)組的開關(guān)，電機(jī)為低耗電變頻電機(jī)。一級羅茨真空泵前安裝過濾器和壓差變送器。二級羅茨真空泵和螺桿真空泵之間有冷卻器、溫度變送器。螺桿真空泵的出氣口上安裝有尾氣回收捕集裝置和消聲器。本實(shí)用新型集螺桿真空泵和羅茨真空泵的優(yōu)點(diǎn)于一身，既可高真空精餾，又能實(shí)現(xiàn)溶劑回收、物料運(yùn)轉(zhuǎn)。結(jié)構(gòu)簡單、成本低廉、低噪音、真空度高、功能多樣、高效環(huán)保。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及真空機(jī)組技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種羅茨螺桿真空機(jī)組。

背景技術(shù)

隨著化工、制藥行業(yè)的溶劑回收和半導(dǎo)體與微電子行業(yè)等高新產(chǎn)品的真空處理工藝需求的快速增長。傳統(tǒng)的一種真空泵無法滿足越來越復(fù)雜的生產(chǎn)過程中的真空需要，需要安裝多組真空泵，把不同功能的真空泵加以組合改造，形成一個聯(lián)合真空機(jī)組，就可集不同真空泵的優(yōu)點(diǎn)為一身，提供多功能的真空需要。

螺桿真空泵主要應(yīng)用于高純凈的真空工藝過程,真空度極高，可適應(yīng)惡劣工況，具有抽取凝性、含顆粒物氣體的能力，特別適宜于潔凈環(huán)境，且易做防腐處理，它是傳統(tǒng)真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品，未來具有極大的市場前景。

羅茨真空泵，是目前獲得中、高真空泵的主要抽氣設(shè)備之一，最大優(yōu)點(diǎn)是在較低入口壓強(qiáng)下具有較高的抽氣速率，而且可以達(dá)到相對高的極限真空，該泵運(yùn)行性能穩(wěn)定，使用壽命長，維護(hù)費(fèi)用小。

本實(shí)用新型將螺桿真空泵與羅茨真空泵聯(lián)合改造，得到一種真空機(jī)組，集螺桿真空泵與羅茨真空泵的優(yōu)點(diǎn)于一身，既可以進(jìn)行高真空精餾，又能實(shí)現(xiàn)溶劑的回收、物料的運(yùn)轉(zhuǎn)。可滿足一個車間的多種真空需求，既高效又環(huán)保節(jié)能。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的是為了克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供一種結(jié)構(gòu)簡單、成本低廉、低噪音、真空度高、功能多樣、高校環(huán)保的羅茨螺桿真空機(jī)組。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)：

本實(shí)用新型的有益效果：一種羅茨螺桿真空機(jī)組，包括螺桿真空泵、一級羅茨真空泵、二級羅茨真空泵、控制柜，其特征在于：所述一級羅茨真空泵的出氣口通過管路連通至二級羅茨真空泵的進(jìn)氣口，所述二級羅茨真空泵的出氣口經(jīng)管路連通至螺桿真空泵的進(jìn)氣口，所述螺桿真空泵的出氣口對外排氣；所述一級羅茨真空泵和二級羅茨真空泵為氣體循環(huán)冷卻式羅茨真空泵；所述螺桿真空泵通入循環(huán)水降溫，循環(huán)水回水加裝水流開關(guān)與真空泵聯(lián)鎖，形成內(nèi)部水循環(huán)降溫系統(tǒng)；所述控制柜控制整個真空機(jī)組的開關(guān)，電機(jī)為低耗電變頻電機(jī)。

進(jìn)一步地，所述一級羅茨真空泵的進(jìn)氣口前安裝有過濾器和壓差變送器，所述壓差變送器連接有真空表。

進(jìn)一步地，所述二級羅茨真空泵和螺桿真空泵之間的管路上串聯(lián)有冷卻器、溫度變送器。

進(jìn)一步地，所述螺桿真空泵的出氣口上安裝有尾氣回收捕集裝置和消聲器，所述尾氣回收捕集裝置包括殼體、冷凝管、旋風(fēng)導(dǎo)流板、過濾網(wǎng)、不銹鋼接收罐。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型的一種羅茨螺桿真空機(jī)組的工藝流程圖。

圖中：1、螺桿真空泵，2、一級羅茨真空泵，3、二級羅茨真空泵，4、過濾器，5、壓差變送器，6、冷卻器，7、溫度變送器，8、尾氣回收捕集裝置，9、消聲器，10、真空表。

具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對本實(shí)用新型作進(jìn)一步地詳細(xì)描述，但該實(shí)施例不應(yīng)該理解為對本實(shí)用新型的限制，僅作舉例而已，同時通過說明，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)將變得更加清楚和容易理解。