[實用新型]曝光機的光源更換系統(tǒng)以及曝光機有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201821431456.3 | 申請日： | 2018-08-31 |
| 公開（公告）號： | CN208737218U | 公開（公告）日： | 2019-04-12 |
| 發(fā)明（設計）人： | 吳利峰 | 申請（專利權(quán)）人： | 武漢華星光電技術(shù)有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知識產(chǎn)權(quán)事務所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黃威 |
| 地址： | 430079 湖北省武漢市*** | 國省代碼： | 湖北;42 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 室內(nèi) 曝光機 光源 導軌移動 光源更換 導軌 腔室 工作腔 測試腔室 工作腔室 光源測試 生產(chǎn)效率 相鄰設置 測試腔 曝光燈 停機 申請 | ||
1.一種曝光機的光源更換系統(tǒng)，其特征在于，包括：
腔室，所述腔室包括相鄰設置的工作腔室、測試腔室以及更換腔室，所述工作腔室內(nèi)設置有第一光源，所述更換腔室內(nèi)設置有第二光源；以及
導軌，所述導軌設置在所述腔室內(nèi)；其中，
所述第一光源可沿著所述導軌移動至所述更換腔室內(nèi)，所述第二光源可沿著所述導軌移動至所述測試腔室內(nèi)，待所述第二光源測試通過后再沿著所述導軌移動至所述工作腔室內(nèi)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光源更換系統(tǒng)，其特征在于，所述工作腔室與所述測試腔室并排設置，且所述更換腔室設置在所述工作腔室與測試腔室上。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光源更換系統(tǒng)，其特征在于，所述導軌為環(huán)形導軌。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光源更換系統(tǒng)，其特征在于，所述腔室內(nèi)還設置有第一移動板、第二移動板和第三移動板；其中，所述第一移動板設置在所述工作腔室與所述更換腔室之間，所述第二移動板設置在所述測試腔室與所述更換腔室之間，所述第三移動板設置在所述工作腔室與所述測試腔室之間。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的光源更換系統(tǒng)，其特征在于，所述第一移動板包括第一移動部以及第一固定部，所述第二移動板包括第二移動部和第二固定部，所述第三移動板包括第三移動部和第三固定部；其中，所述第一固定部上設置有第一過孔，所述第二固定部設置有第二過孔，所述第三固定部設置有第三過孔，所述導軌沿著所述第一過孔、第二過孔以及第三過孔設置。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光源更換系統(tǒng)，其特征在于，所述第一光源包括第一滑動部以及設置在所述第一滑動部一側(cè)的第一發(fā)光部，所述第二光源包括第二滑動部以及設置在所述第二滑動部一側(cè)的第二發(fā)光部；
其中，所述第一滑動部和第二滑動部均設置在所述導軌上，以使所述第一光源可沿著所述導軌移動至所述更換腔室內(nèi)，所述第二光源可沿著所述導軌移動至所述測試腔室內(nèi)，待所述第二光源測試通過后再沿著所述導軌移動至所述工作腔室內(nèi)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光源更換系統(tǒng)，其特征在于，所述工作腔室內(nèi)還設置有反射器，以及設置在所述工作腔室外的接收器；其中，所述反射器用于將所述第一光源發(fā)出的光線反射至所述接收器上。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至7任一項所述的光源更換系統(tǒng)，其特征在于，所述測試腔室內(nèi)還設置有一測試單元；
所述測試單元用于測試移動至所述測試腔室內(nèi)的第二光源，以使所述測試腔室內(nèi)的第二光源的參數(shù)達到預設參數(shù)。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光源更換系統(tǒng)，其特征在于，所述第一光源與第二光源的形狀、大小均一致。
10.一種曝光機，其特征在于，包括權(quán)利要求1至9任一項所述的光源更換系統(tǒng)。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于武漢華星光電技術(shù)有限公司，未經(jīng)武漢華星光電技術(shù)有限公司許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.17sss.com.cn/pat/books/201821431456.3/1.html，轉(zhuǎn)載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
- 上一篇：一種掩模版導軌片貼合裝置
- 下一篇：一種晶圓工作臺清潔系統(tǒng)
- 同類專利
- 專利分類
