本實(shí)用新型提供一種材料供應(yīng)裝置、材料供應(yīng)系統(tǒng)，材料供應(yīng)裝置包括：存儲(chǔ)裝置，其上設(shè)置信息存儲(chǔ)部件，記錄有存儲(chǔ)裝置中供應(yīng)材料的追蹤信息；相連通的緩沖裝置、抽取裝置及噴涂裝置；信息識(shí)別部件，識(shí)別信息存儲(chǔ)部件內(nèi)的追蹤信息；控制裝置，獲取信息存儲(chǔ)部件的追蹤信息并和目標(biāo)供應(yīng)材料的目標(biāo)信息進(jìn)行比較，判斷二者是否匹配。本實(shí)用新型通過信息存儲(chǔ)部件及信息識(shí)別部件的作用，獲取存儲(chǔ)裝置中供應(yīng)材料的追蹤信息，通過控制裝置獲取上述追蹤信息及目標(biāo)供應(yīng)材料的目標(biāo)信息，并進(jìn)行比較以判斷操作人員準(zhǔn)備的存儲(chǔ)裝置是否正確，減少操作人員誤判斷帶來的損害，防止錯(cuò)誤的材料應(yīng)用到制備工藝中，同時(shí)防止錯(cuò)誤的材料造成供應(yīng)系統(tǒng)的污染。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種材料供應(yīng)裝置、材料供應(yīng)系統(tǒng)。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體器件廣泛用于各種電子產(chǎn)品中，諸如個(gè)人電腦、手機(jī)、數(shù)碼相機(jī)和其他電子設(shè)備。在半導(dǎo)體制造工藝過程中通常會(huì)使用到多種不同種類的耗材，例如光刻工藝中的光刻膠，抗反射涂層等。當(dāng)機(jī)臺(tái)中的光刻膠消耗完畢時(shí)，需要對(duì)機(jī)臺(tái)中的光刻膠進(jìn)行補(bǔ)充，補(bǔ)充方式為把裝滿光刻膠的容器安裝到供應(yīng)裝置中，將報(bào)空的目標(biāo)容器替下。然而，在補(bǔ)充的過程中，經(jīng)常會(huì)因?yàn)楦鞣N原因?qū)е掳惭b上裝有與機(jī)臺(tái)報(bào)空光刻膠不同種類的光刻膠的容器，導(dǎo)致錯(cuò)誤的光刻工藝，同時(shí)導(dǎo)致設(shè)備的污染。除光刻膠的補(bǔ)充外，還有多種類似材料的供應(yīng)存在上述問題。

因此，如何提供一種安全可靠的材料供應(yīng)裝置、材料供應(yīng)系統(tǒng)，以解決現(xiàn)有技術(shù)中的上述問題實(shí)屬必要。

實(shí)用新型內(nèi)容

鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，本實(shí)用新型的目的在于提供一種材料供應(yīng)裝置、材料供應(yīng)系統(tǒng)，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中發(fā)生的材料補(bǔ)充錯(cuò)誤，及錯(cuò)誤的材料對(duì)供應(yīng)裝置的污染等問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本實(shí)用新型提供一種材料供應(yīng)裝置，包括：

存儲(chǔ)裝置，與氣體輸入管路相連通，所述存儲(chǔ)裝置用于存儲(chǔ)供應(yīng)材料，所述存儲(chǔ)裝置上設(shè)置有信息存儲(chǔ)部件，所述信息存儲(chǔ)部件內(nèi)記錄有所述存儲(chǔ)裝置中所述供應(yīng)材料的追蹤信息；

緩沖裝置，通過第一管路與所述存儲(chǔ)裝置相連通，所述緩沖裝置用于接收并暫存所述存儲(chǔ)裝置中存儲(chǔ)的所述供應(yīng)材料；

抽取裝置，通過第二管路與所述緩沖裝置相連通，所述抽取裝置用于抽取并輸出所述緩沖裝置中暫存的所述供應(yīng)材料；

噴涂裝置，通過第三管路與所述抽取裝置相連通，所述噴涂裝置用于接收所述抽取裝置輸出的所述供應(yīng)材料并噴涂所述供應(yīng)材料；

信息識(shí)別部件，用于識(shí)別所述存儲(chǔ)裝置上的所述信息存儲(chǔ)部件內(nèi)的所述追蹤信息；以及

控制裝置，與所述信息識(shí)別部件相連接，并通過所述信息識(shí)別部件獲取其識(shí)別的所述追蹤信息，且所述控制裝置還接收?qǐng)?bào)空的目標(biāo)供應(yīng)材料的目標(biāo)信息，其中，所述控制裝置將所述追蹤信息與所述目標(biāo)信息進(jìn)行比較，依據(jù)比較結(jié)果判斷所述存儲(chǔ)裝置中所存儲(chǔ)的所述供應(yīng)材料是否匹配所述目標(biāo)供應(yīng)材料。

作為本實(shí)用新型的一種可選方案，所述材料供應(yīng)裝置還包括報(bào)警裝置，所述報(bào)警裝置與所述控制裝置相連接，用于依據(jù)所述控制裝置的所述比較結(jié)果發(fā)出提示信息，其中，所述報(bào)警裝置至少在所述追蹤信息與所述目標(biāo)信息不匹配時(shí)，提醒操作人員核查所述存儲(chǔ)裝置中的所述供應(yīng)材料。

作為本實(shí)用新型的一種可選方案，所述氣體輸入管路上設(shè)置有氣體閥門，所述氣體閥門與所述控制裝置相連接，其中，當(dāng)所述控制裝置的所述比較結(jié)果指示所述追蹤信息與所述目標(biāo)信息不匹配時(shí)，所述控制裝置控制鎖死所述氣體閥門。

作為本實(shí)用新型的一種可選方案，所述控制裝置與機(jī)臺(tái)總閥門相連接，其中，當(dāng)所述控制裝置的所述比較結(jié)果指示所述追蹤信息與所述目標(biāo)信息不匹配時(shí)，所述控制裝置控制鎖死所述機(jī)臺(tái)總閥門。