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[實用新型]一種掩模版導軌片貼合裝置有效

專利信息
申請號: 201821382145.2 申請日: 2018-08-21
公開(公告)號: CN208737217U 公開(公告)日: 2019-04-12
發明(設計)人: 謝超;侯廣杰 申請(專利權)人: 深圳市龍圖光電有限公司
主分類號: G03F7/20 分類號: G03F7/20
代理公司: 深圳鼎合誠知識產權代理有限公司 44281 代理人: 彭家恩;郭燕
地址: 518104 廣東省深圳市寶安區*** 國省代碼: 廣東;44
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 夾具 第二面 標點 校準 第一位置 掩膜版 旋鈕 驅動機構 導軌片 固定板 貼合裝置 掩模版 重合 合攏 運動端 鉸接 粘貼 裝載 驅動 配合
【權利要求書】:

1.一種掩模版導軌片貼合裝置,其特征在于包括:第一面夾具和第二面夾具,所述第一面夾具與所述第二面夾具鉸接;

所述第一面夾具設有多個第一位置調節旋鈕,各個第一位置調節旋鈕相互配合以調節掩膜版的位置并將掩膜版固定;

所述第二面夾具設有至少兩個校準標點,第二面夾具還設有驅動機構,驅動機構的運動端設有固定板,驅動機構用于驅動固定板來回運動;所述固定板用于裝載導軌片;第一面夾具與第二面夾具合攏后,所述第二面夾具上的校準標點與掩膜版上的校準標點重合。

2.如權利要求1所述的掩模版導軌片貼合裝置,其特征在于,所述固定板設有至少兩個。

3.如權利要求1所述的掩模版導軌片貼合裝置,其特征在于,所述驅動機構為氣缸或電機。

4.如權利要求1所述的掩模版導軌片貼合裝置,其特征在于,所述固定板上還設有吸氣閥,固定板的凹槽底部設有空腔;吸氣閥與空腔連通。

5.如權利要求1所述的掩模版導軌片貼合裝置,其特征在于,所述固定板上還設有第二位置調節旋鈕,第二位置調節旋鈕作用在導軌片上,用于在凹槽內對導軌片的位置進行微調,使導軌片與凹槽內的校準點精準對位。

6.如權利要求1所述的掩模版導軌片貼合裝置,其特征在于,各個第一位置調節旋鈕作用在掩膜版的邊框上以調節掩膜版的位置并將掩膜版固定。

7.如權利要求1所述的掩模版導軌片貼合裝置,其特征在于,還包括CCD顯示器,CCD顯示器鏡頭的校準標點與掩膜版上的校準標點、第二面夾具上的校準標點在同一直線上。

8.如權利要求7所述的掩模版導軌片貼合裝置,其特征在于,所述CCD顯示器鏡頭的校準標點為“十”字標的交叉點。

9.如權利要求1所述的掩模版導軌片貼合裝置,其特征在于,所述固定板的側面設有用于裝載導軌片的凹槽,凹槽的深度小于導軌片的厚度,所述第一位置調節旋鈕將掩膜版豎立固定于第一面夾具上,所述固定板的凹槽與掩膜版平行。

10.如權利要求1-9任一所述的掩模版導軌片貼合裝置,其特征在于,所述第二面夾具上的校準標點為“十”字標的交叉點。

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