本實(shí)用新型涉及一種采用蒸鍍氧化鋅透明導(dǎo)電膜的硅基異質(zhì)結(jié)太陽(yáng)能電池，包括正面金屬化導(dǎo)線(xiàn)、正面氧化鋅系列透明導(dǎo)電膜、HJT電池非晶硅多層膜結(jié)構(gòu)層、背面氧化鋅系列透明導(dǎo)電膜和背面金屬化導(dǎo)線(xiàn),所述正面金屬化導(dǎo)線(xiàn)、正面氧化鋅系列透明導(dǎo)電膜、HJT電池非晶硅多層膜結(jié)構(gòu)層、背面氧化鋅系列透明導(dǎo)電膜、背面金屬化導(dǎo)線(xiàn)從上到下依次連接；所述正面氧化鋅系列透明導(dǎo)電膜和背面氧化鋅系列透明導(dǎo)電膜為RPD蒸鍍氧化鋅系列材料的透明導(dǎo)電膜。本實(shí)用新型采用氧化鋅系列的氧化物其原料成本大幅降低、材料鍍率快增加產(chǎn)率、高薄膜透明度及膜層致密度高阻抗低，整體降低HJT電池的生產(chǎn)成本，有利于市場(chǎng)的推廣及產(chǎn)品的普及。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種薄膜技術(shù)的太陽(yáng)能電池，尤其涉及一種采用蒸鍍氧化鋅透明導(dǎo)電膜的硅基異質(zhì)結(jié)太陽(yáng)能電池。

背景技術(shù)

近幾年，由于硅片、電池片和組件的產(chǎn)能不斷擴(kuò)張，光伏發(fā)電成本也出現(xiàn)了實(shí)質(zhì)性的下降。因此，降低集成成本（BOS）在整個(gè)光伏發(fā)電系統(tǒng)成本結(jié)構(gòu)中的比例也變得更加重要，這意味著高效組件在降低系統(tǒng)成本的過(guò)程中將扮演著最重要的角色，因?yàn)樗鼈冊(cè)谔峁┫嗤娏康那闆r下可以節(jié)約更多的BOS成本。在所有的太陽(yáng)能電池技術(shù)中，研究硅基異質(zhì)結(jié)（HJT）太陽(yáng)能電池具有重要的意義，因?yàn)槠渚邆滢D(zhuǎn)換效率高(24.7%),結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,制程溫度低(<250℃),工藝步驟少以及溫度系數(shù)低等優(yōu)點(diǎn)。

與傳統(tǒng)的P型單晶/多晶太陽(yáng)能電池相比，N型單晶襯底的HJT電池具有高效率、工藝簡(jiǎn)單、無(wú)照光裂化（LID free）、無(wú)電壓裂化（PID free）、低溫度系數(shù)、高發(fā)電量、低光衰、低發(fā)電成本和雙面照光發(fā)電等特性，保證了光伏組件更可靠、電站建設(shè)成本更低和更長(zhǎng)的使用壽命，非常適合分布式光伏應(yīng)用，為下世代高效率電池主流技術(shù)之一。采用雙面異質(zhì)結(jié)組件，在白色背景的反照下，可以多輸出>20%的電力。根據(jù)實(shí)地的測(cè)試，使用雙面的HJT組件比單面的HJT組件平均可多輸出28.9%的電力。

在制備HJT太陽(yáng)能電池的過(guò)程中，PECVD在決定產(chǎn)品的性能方面扮演著最重要的角色。入光面所沉積的鈍化層為本征層（i）并在上面堆疊摻硼的（p）層，背面同樣沉積本征鈍化層（i）并堆疊摻磷的（n）層,表面鈍化層i/p和i/n的厚度都約為15～25nm。然后在正反兩面濺鍍上約60-150nm的透明導(dǎo)電膜(TCO),目前大都采用傳統(tǒng)的濺鍍ITO(銦錫氧化物)作為透明導(dǎo)電膜層(TCO)或者用RPD(Reactive Plasma Deposition)技術(shù)蒸鍍IWO(銦鎢氧化物)做透明導(dǎo)電膜,然后在透明導(dǎo)電膜上可以用絲印低溫銀漿的方式、或是采用濺鍍金屬薄膜的方式或者采用電鑄銅的方式來(lái)制作正反面的導(dǎo)線(xiàn),這樣便完成一個(gè)HJT電池片的制作。

目前HJT正反兩面的透明導(dǎo)電膜的制作方式尚有成本較高的缺點(diǎn)，一般在正反兩面濺鍍上約60-150nm的透明導(dǎo)電膜(TCO),目前大都采用傳統(tǒng)的濺鍍ITO(銦錫氧化物)作為透明導(dǎo)電膜層(TCO)或者用RPD(Reactive Plasma Deposition)技術(shù)蒸鍍IWO(銦鎢氧化物)做透明導(dǎo)電膜,ITO靶材成型不易良率低及IWO靶材用更多的銦原料，因此兩者都成本居高不下。

實(shí)用新型內(nèi)容

有鑒于此，提供一種采用蒸鍍氧化鋅透明導(dǎo)電膜的硅基異質(zhì)結(jié)太陽(yáng)能電池，其主要特點(diǎn)是RPD蒸鍍氧化鋅系列透明導(dǎo)電膜對(duì)非晶硅層損傷小、采用氧化鋅系列的氧化物其原料成本大幅降低、材料鍍率快增加產(chǎn)率、高薄膜透明度及膜層致密度高阻抗低，整體降低HJT電池的生產(chǎn)成本，有利于市場(chǎng)的推廣及產(chǎn)品的普及。

一種采用蒸鍍氧化鋅透明導(dǎo)電膜的硅基異質(zhì)結(jié)太陽(yáng)能電池，包括正面金屬化導(dǎo)線(xiàn)、正面氧化鋅系列透明導(dǎo)電膜、HJT電池非晶硅多層膜結(jié)構(gòu)層、背面氧化鋅系列透明導(dǎo)電膜和背面金屬化導(dǎo)線(xiàn)；所述正面金屬化導(dǎo)線(xiàn)、正面氧化鋅系列透明導(dǎo)電膜、HJT電池非晶硅多層膜結(jié)構(gòu)層、背面氧化鋅系列透明導(dǎo)電膜、背面金屬化導(dǎo)線(xiàn)從上到下依次連接；所述正面氧化鋅系列透明導(dǎo)電膜和背面氧化鋅系列透明導(dǎo)電膜為RPD蒸鍍氧化鋅系列材料的透明導(dǎo)電膜。