[發(fā)明專利]一種金剛石復(fù)合片及其制備方法在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201810968282.2 | 申請(qǐng)日: | 2018-08-23 |
| 公開(公告)號(hào): | CN110857467A | 公開(公告)日: | 2020-03-03 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 易劍;江南;褚伍波 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 中國科學(xué)院寧波材料技術(shù)與工程研究所 |
| 主分類號(hào): | C23C16/27 | 分類號(hào): | C23C16/27;C23C16/455;C30B28/14;C30B29/04 |
| 代理公司: | 北京元周律知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11540 | 代理人: | 王惠 |
| 地址: | 315201 浙江*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 金剛石 復(fù)合 及其 制備 方法 | ||
本申請(qǐng)公開了一種金剛石復(fù)合片,所述金剛石復(fù)合片包括單晶金剛石片和多晶金剛石膜;所述多晶金剛石膜包裹所述單晶金剛石片的外緣表面;所述單晶金剛石片的中心與所述金剛石復(fù)合片的中心重合。本申請(qǐng)將單晶金剛石和多晶金剛石進(jìn)行復(fù)合,用于改善整個(gè)金剛石片的內(nèi)部結(jié)構(gòu)和功能。該金剛石復(fù)合片成本低廉、性能優(yōu)異。
技術(shù)領(lǐng)域
本申請(qǐng)涉及一種金剛石復(fù)合片及其制備方法,屬于金剛石復(fù)合材料領(lǐng)域。
背景技術(shù)
回旋管中的微波窗口用的金剛石窗片目前用多晶金剛石自支撐膜,但多晶金剛石自支撐膜介質(zhì)損耗高,而微波能量呈高斯分布,即中心很高,兩邊逐漸降低,導(dǎo)致在大功率兆瓦級(jí)微波穿過時(shí)由于介質(zhì)損耗,導(dǎo)致窗片中心急劇升溫,而多晶金剛石的斷裂強(qiáng)度低,熱導(dǎo)率也不是非常高,從而很容易在中心開裂。單晶金剛石,其介質(zhì)損耗低,大約只有6×10-5左右,可以極大較小微波在其中的能量殘留。實(shí)際上,穿過窗口的微波能量呈高斯分布,即中心很高,兩邊逐漸降低,且中心地帶的能量寬度僅在10mm左右。因此,開發(fā)一種性能優(yōu)異的窗片,具有重要的意義。
發(fā)明內(nèi)容
根據(jù)本申請(qǐng)的一個(gè)方面,提供了一種金剛石復(fù)合片,將單晶金剛石和多晶金剛石進(jìn)行復(fù)合,用于改善整個(gè)金剛石片的內(nèi)部結(jié)構(gòu)和功能。該金剛石復(fù)合片成本低廉、性能優(yōu)異。
所述金剛石復(fù)合片包括單晶金剛石片和多晶金剛石膜;
所述多晶金剛石膜包裹所述單晶金剛石片的外緣表面;
所述單晶金剛石片的中心與所述金剛石復(fù)合片的中心重合。
可選地,所述多晶金剛石膜的外緣表面的至少一點(diǎn)至所述金剛石復(fù)合片的中心的距離與所述單晶金剛石片的外緣表面的至少一點(diǎn)至所述金剛石復(fù)合片的中心的距離的比值≤15。
可選地,所述單晶金剛石片與所述多晶金剛石膜的結(jié)合方式的包括化學(xué)鍵合或物理鍵合。
可選地,所述多晶金剛石膜的厚度與所述單晶金剛石片的厚度沒有直接的大小關(guān)系。單晶金剛石片的厚度可以小于多晶金剛石膜的厚度,也可以等于或大于多晶金剛石膜的厚度。
可選地,所述多晶金剛石膜的厚度等于所述單晶金剛石片的厚度。
可選地,所述多晶金剛石膜的厚度大于所述單晶金剛石片的厚度。
可選地,所述多晶金剛石膜的厚度小于所述單晶金剛石片的厚度。可選地,所述單晶金剛石片包括天然單晶金剛石片、人工合成單晶金剛石片中的至少一種。
可選地,所述單晶金剛石片包括圓形單晶金剛石片、多邊形單晶金剛石片。
可選地,所述單晶金剛石片是一片或多片鑲嵌在多晶金剛石膜中。當(dāng)單晶金剛石片為多片鑲嵌在多晶金剛石膜中時(shí),多片單晶金剛石片的中心與所述金剛石復(fù)合片的中心重合,多片金剛石片可以均勻分布在多晶金剛石膜上。
可選地,所述圓形單晶金剛石片的直徑為5~50mm,厚度為0.05~3mm;
所述多邊形單晶金剛石片的邊長(zhǎng)為5~50mm,厚度為0.05~3mm。
可選地,所述多晶金剛石膜包括微米晶、納米晶、超細(xì)納米晶中的至少一種。
可選地,所述多晶金剛石膜包括外緣輪廓呈圓形的多晶金剛石膜、外緣輪廓呈多邊形的多晶金剛石膜。
可選地,所述外緣輪廓呈圓形的多晶金剛石膜的外緣輪廓直徑為10~200mm,厚度為0.01~3nm;所述外緣輪廓呈多邊形的多晶金剛石膜的外緣輪廓的邊長(zhǎng)為1~200mm,厚度為0.01~3nm。
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C23C 對(duì)金屬材料的鍍覆;用金屬材料對(duì)材料的鍍覆;表面擴(kuò)散法,化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態(tài)化合物分解且表面材料的反應(yīng)產(chǎn)物不留存于鍍層中的化學(xué)鍍覆,例如化學(xué)氣相沉積
C23C16-01 .在臨時(shí)基體上,例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機(jī)材料為特征的





