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[發(fā)明專利]限位裝置及限位系統(tǒng)有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201810909764.0 申請日: 2018-08-10
公開(公告)號: CN110814785B 公開(公告)日: 2021-04-02
發(fā)明(設(shè)計)人: 黃亞慶 申請(專利權(quán))人: 上海微電子裝備(集團)股份有限公司
主分類號: B23Q1/26 分類號: B23Q1/26;B25H1/14
代理公司: 上海思捷知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31295 代理人: 王宏婧
地址: 201203 上*** 國省代碼: 上海;31
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 限位 裝置 系統(tǒng)
【說明書】:

發(fā)明提供了一種限位裝置及限位系統(tǒng),包括:與運動臺的動子或定子固定連接的限位框,與運動臺的定子或動子固定連接的中空的限位柱中心桿,所述限位柱中心桿的端部通過套設(shè)的緩沖件安裝在所述限位框內(nèi),所述緩沖件與限位框之間留有間隙,以及安裝在所述限位柱中心桿內(nèi)的傳感器,所述傳感器與所述限位柱中心桿的內(nèi)壁之間非接觸;限位裝置系統(tǒng),包括多個限位裝置。在本發(fā)明提供的限位裝置及限位系統(tǒng)中,能有效減小運動臺邊界的極限偏移量;且能避免運動臺在極限位置時電機仍在發(fā)力,造成結(jié)構(gòu)損壞或電機燒毀。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及限位結(jié)構(gòu)技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種限位裝置及限位系統(tǒng)。

背景技術(shù)

在工件生產(chǎn)過程中,運動臺的限位結(jié)構(gòu)需要既能保證運動臺正常工作下的水平向X、Y及Rz三自由度的運動行程,又能防止運動臺在異常情況下超出正常行程的偏移距離過多。現(xiàn)有技術(shù)的限位結(jié)構(gòu)主要由兩部分組成,與運動臺動子連接的限位柱和與運動臺定子連接的限位框。限位柱隨著運動臺動子在水平方向運動,其X向行程為±X1,Y向行程±Y1,Rz向行程±θ,將Rz行程轉(zhuǎn)換到X、Y方向后分別為±X2,±Y2,即運動臺水平向耦合后行程為±X、±Y,也即是限位框與限位柱之間的間隙。正常情況下,運動臺在其工作行程內(nèi)限位框與限位柱不發(fā)生接觸或碰撞。當發(fā)生異常工況,運動臺超出正常行程后,限位框與限位柱發(fā)生碰撞,此時需要對運動臺動子進行減速。如圖1至圖4,現(xiàn)有技術(shù)中,一般在運動臺的直線方向上布置兩個限位結(jié)構(gòu)。但是這種限位結(jié)構(gòu)存在著多種缺陷:1、運動臺非正常工作狀態(tài)下,例如Rz運動到限位框的極限,此時Rz已超出正常工作行程,但此時運動臺仍可以在Y向運動。假設(shè)運動臺再運動到Y(jié)正向的限位框的極限,此時雙點化線所示的區(qū)域為運動臺在異常工況下的邊界極限位置。該極限位置相對于初始位置的偏移量為ΔY,不難證明,ΔYY,且ΔY-Y滿足如下關(guān)系:

其中,其中,L為運動臺的長度,W為運動臺的寬度,為運動臺運動臺運動的偏轉(zhuǎn)角度,ω為運動前的運動臺中心到運動臺的右上角和運動臺中心到限位柱之間的夾角,γ為偏移前限位柱與運動臺中心在水平方向上的距離,現(xiàn)有技術(shù)的兩點限位的方案導(dǎo)致的運動臺極限偏移量ΔY較大,使得運動臺會超出其空間限制的范圍要求;2、現(xiàn)有技術(shù)在運動臺運動到極限位置時無法探測到限位框是否與限位柱發(fā)生碰撞,無法及時切斷電機發(fā)力,若電機仍在持續(xù)發(fā)力,可能造成嚴重后果。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種限位裝置及限位系統(tǒng),可以更好地限制運動臺非正常工況下的行程或極限位置,并且及時探測到運動臺運動到極限位置。

為了達到上述目的,本發(fā)明提供了一種限位裝置,包括:與運動臺的動子或定子固定連接的限位框,與運動臺的定子或動子固定連接的中空的限位柱中心桿,所述限位柱中心桿的端部通過套設(shè)的緩沖件安裝在所述限位框內(nèi),所述緩沖件與限位框之間留有間隙,以及安裝在所述限位柱中心桿內(nèi)的傳感器,所述傳感器與所述限位柱中心桿的內(nèi)壁之間非接觸。

可選的,在所述的限位裝置中,所述限位裝置還包括套設(shè)在所述限位柱中心桿外側(cè)的限位柱緩沖桿。

可選的,在所述的限位裝置中,還包括固定在所述限位柱緩沖桿上的緩沖套,所述緩沖套通過連接件和所述運動臺的定子或動子連接。

可選的,在所述的限位裝置中,所述傳感器、所述限位柱中心桿、所述限位柱緩沖桿及緩沖套依次由內(nèi)向外同軸設(shè)置。

可選的,在所述的限位裝置中,所述限位柱中心桿、限位柱緩沖桿及緩沖套為一體式結(jié)構(gòu),所述限位柱中心桿、所述限位柱緩沖桿及所述緩沖套彼此之間留有間隙。

可選的,在所述的限位裝置中,所述緩沖件為球鉸,所述限位柱中心桿的端部插入所述球鉸中。

可選的,在所述的限位裝置中,所述緩沖件為聚氨酯,所述聚氨酯包裹在所述限位柱中心桿的端部。

可選的,在所述的限位裝置中,所述限位框與所述限位柱中心桿在水平方向上的距離不大于所述運動臺的動子相對運動臺的定子在水平方向運動時的行程。

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3、專利數(shù)據(jù)每周兩次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、內(nèi)容包括專利技術(shù)的結(jié)構(gòu)示意圖流程工藝圖技術(shù)構(gòu)造圖

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