本發(fā)明提供了一種冷卻盤體及冷卻盤體加工方法，涉及冷卻設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，本發(fā)明提供的冷卻盤體包括蓋板和底板，底板上具有第一凹槽，蓋板嵌設(shè)于第一凹槽中，蓋板和底板之間具有用于冷卻水通過(guò)的通道。本發(fā)明提供的冷卻盤體中第一凹槽能夠?qū)ιw板起到限位的作用，保證蓋板和底板精準(zhǔn)的對(duì)齊，避免通道發(fā)生錯(cuò)位。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及冷卻設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種冷卻盤體及冷卻盤體加工方法。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)中，冷卻盤體起到冷卻作用。冷卻盤體的冷卻作用是通過(guò)內(nèi)部的水道實(shí)現(xiàn)的，內(nèi)部密封性好的水道通滿冷卻水，在冷卻水循環(huán)的過(guò)程中會(huì)帶走腔體內(nèi)部的熱量，起到冷卻的作用。由此可知，水道內(nèi)部的流量和強(qiáng)度將直接影響盤體的散熱效率，且水道不能出現(xiàn)焊接缺陷、滲漏等異常。

如圖1所示，圖1為現(xiàn)有技術(shù)中一種冷卻盤體的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖1中所示冷卻盤體中包括兩個(gè)相對(duì)設(shè)置的上蓋板1和下底板2，上蓋板1和下底板2之間形成應(yīng)用于冷卻水通過(guò)的通道，當(dāng)需要將上蓋板1和下底板2進(jìn)行連接時(shí)，將上蓋板1和下底板2對(duì)接后通過(guò)釬焊的方式進(jìn)行加工即可。

現(xiàn)有技術(shù)中，在加工上述冷卻盤體時(shí)，上蓋板1和下底板2無(wú)法完全對(duì)齊，通道處會(huì)產(chǎn)生錯(cuò)位，進(jìn)而導(dǎo)致流量變小。且釬焊焊接結(jié)合率不高，使用過(guò)程中遇到高溫易發(fā)生脫焊情況，釬焊焊縫在遇到通道中腐蝕性液體會(huì)發(fā)生腐蝕。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種冷卻盤體及冷卻盤體加工方法，能夠保證蓋板和底板精準(zhǔn)的對(duì)齊，避免通道發(fā)生錯(cuò)位。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供以下技術(shù)方案：

第一方面，本發(fā)明提供一種冷卻盤體，包括蓋板和底板，所述底板上具有第一凹槽，所述蓋板嵌設(shè)于所述第一凹槽中，所述蓋板和所述底板之間具有用于冷卻水通過(guò)的通道。

進(jìn)一步地，所述底板上設(shè)有用于形成至少部分所述通道的第二凹槽，所述第一凹槽位于所述第二凹槽的頂端。

進(jìn)一步地，所述蓋板的底面為平面。

進(jìn)一步地，所述蓋板上設(shè)有用于形成另一部分所述通道的第三凹槽。

進(jìn)一步地，所述第三凹槽的槽寬等于所述第二凹槽的槽寬。

進(jìn)一步地，所述蓋板的頂面與所述蓋板的頂面齊平。

進(jìn)一步地，所述通道呈平面螺旋狀。

進(jìn)一步地，所述底板上設(shè)有用于冷卻水進(jìn)入所述通道的進(jìn)液口和用于冷卻水排出所述通道的出液口。

第二方面，本發(fā)明還提供一種冷卻盤體加工方法，包括：

將蓋板嵌設(shè)于底板的第一凹槽中；

采用攪拌摩擦焊將所述蓋板和所述底板焊接。

進(jìn)一步地，所述采用攪拌摩擦焊將所述蓋板和所述底板之間進(jìn)行焊接包括：

焊頭將所述蓋板與所述第一凹槽的一側(cè)進(jìn)行焊接，再將所述蓋板與所述第一凹槽的另一側(cè)進(jìn)行焊接。

本發(fā)明提供的冷卻盤體及冷卻盤體加工方法能產(chǎn)生如下有益效果：

在加工本發(fā)明第一方面提供的冷卻盤體時(shí)，由于底板上具有第一凹槽，在將底板與蓋板進(jìn)行對(duì)接時(shí)，可以直接將蓋板嵌設(shè)于第一凹槽中，此時(shí)蓋板和底板之間具有通道，冷卻水可以通過(guò)通道帶走熱量。

相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)來(lái)說(shuō)，本發(fā)明第一方面提供的冷卻盤體中第一凹槽能夠?qū)ιw板起到限位的作用，保證蓋板和底板精準(zhǔn)的對(duì)齊，避免通道發(fā)生錯(cuò)位。同時(shí)在對(duì)上述冷卻盤體進(jìn)行裝配的過(guò)程中不需要通過(guò)肉眼觀察蓋板和底板是否對(duì)準(zhǔn)，有效的提高了加工效率。