本發(fā)明公開了一種透視窗，包括透明的圓形腔室蓋板，設(shè)置在腔室蓋板第一側(cè)的第一刮條、設(shè)置在腔室蓋板第二側(cè)的第二刮條以及設(shè)置在第二刮條和腔室蓋板之間的至少一個第二萬向輪，第一刮條帶動第二刮條同時移動；腔室蓋板為圓形，在腔室蓋板的邊緣設(shè)有至少一個回流口；本發(fā)明中第一刮條帶動第二刮條在圓形的腔室蓋板的范圍內(nèi)轉(zhuǎn)動，且腔室蓋板四周的限位結(jié)構(gòu)有效避免了第二刮條脫落；本發(fā)明還公開了該透視窗的使用方法和包括該透視窗的裝置。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種濕式設(shè)備的透視窗及其使用方法和包括該透視窗的裝置。

背景技術(shù)

透視窗在半導(dǎo)體行業(yè)以及TFT-LCD、AMOLED等新型半導(dǎo)體顯示行業(yè)中有廣泛應(yīng)用，如設(shè)置在藥液腔室和水洗腔室的壁上用于觀察腔室內(nèi)部狀況，透視窗一般位于設(shè)備腔室的頂部；隨著設(shè)備大型化，腔室寬度隨之增加，目前設(shè)備一般每個腔室設(shè)有4個以上的透視窗。

在有溫度要求的藥液單元，一般會在腔室內(nèi)壁PVC蓋板上形成液滴或者霧氣，透視窗的矩形蓋板100上也會形成液滴或者霧氣影響觀察。如圖1和圖2所示，現(xiàn)有技術(shù)的中透視窗一般呈矩形，透明的矩形蓋板100在腔室內(nèi)外兩側(cè)對應(yīng)地設(shè)置有長條狀的第一刮條11和第二刮條12，第一刮條11位于腔室外，第二刮條12位于腔室內(nèi)，第一刮條11與第二刮條12形狀和長度基本一致并且相互間有吸力，第一刮條11移動時可帶動第二刮條12移動，第二刮條12在靠近矩形蓋板100的一側(cè)設(shè)置有多個第二萬向輪121。垂直于矩形蓋板100的豎線連接板101和平行于矩形蓋板100的平行連接板102構(gòu)成截面呈“L”型的防脫落折彎，設(shè)置在矩形蓋板100的左右兩側(cè)且位于靠近腔室內(nèi)的一側(cè)，第二刮條12設(shè)置在矩形蓋板100和兩個防脫落折彎圍成的容置空間內(nèi)。當需要觀察腔室內(nèi)部狀況時，可以沿圖1中雙向箭頭的方向移動腔室外的第一刮條11，由于防脫落折彎的限位作用和第一刮條11的吸力，第二刮條12也只能隨之沿雙向箭頭方向移動，從而清除透視窗內(nèi)側(cè)聚集的液滴或者霧氣。

然而，如圖3和圖4所示，當?shù)谝还螚l11的移動方向偏離雙向箭頭方向時，第二刮條12隨之發(fā)生傾斜，脫離開矩形蓋板100和兩個防脫落折彎構(gòu)成的限位結(jié)構(gòu)，掉入腔室內(nèi)，可能造成基板破裂或者機構(gòu)損傷。此外，在防脫落折彎和第二刮條12的位置會殘留一部分藥液，隨著水分的蒸發(fā)，藥液濃度急劇升高，如滴落到基板上方，極易形成點傷或者過刻蝕。

發(fā)明內(nèi)容

為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明公開了一種透視窗，可解決第二刮條在運動時脫落和透視窗位置藥液殘留的問題；本發(fā)明還公開了該透視窗的使用方法和包括該透視窗的裝置。

本發(fā)明公開了一種透視窗，該透視窗包括透明的腔室蓋板、設(shè)置在腔室蓋板第一側(cè)的第一刮條、設(shè)置在腔室蓋板第二側(cè)的第二刮條以及設(shè)置在第二刮條和腔室蓋板之間的至少一個第二萬向輪，第一刮條帶動第二刮條同時移動；腔室蓋板為圓形；在腔室蓋板的邊緣設(shè)有至少一個回流口。

優(yōu)選地，該透視窗還包括與所述腔室蓋板連接且位于腔室蓋板第二側(cè)的第二豎向連接板以及固定在第二豎向連接板上的橫向連接板；

優(yōu)選地，第二豎向連接板在腔室蓋板的四周圍成環(huán)形，橫向連接板在第二豎向連接板上方圍成環(huán)形；第二刮條位于腔室蓋板、第二豎向連接板和橫向連接板圍成的容置空間內(nèi)。

優(yōu)選地，與所述回流口對應(yīng)的第二豎向連接板和橫向連接板設(shè)有缺口。

優(yōu)選地，腔室蓋板的直徑L、橫向連接板沿腔室蓋板徑向的長度L1、第二刮條的長度L2滿足以下關(guān)系式：2*L1+L2>L。

優(yōu)選地，該透視窗還包括與所述腔室蓋板連接且位于腔室蓋板第一側(cè)的第一豎向連接板，所述第一豎向連接板在腔室蓋板的四周圍成環(huán)形。

優(yōu)選地，該透視窗還包括設(shè)置在所述第一刮條和腔室蓋板之間的至少一個第一萬向輪。

優(yōu)選地，該透視窗還包括固定在第一刮條上的操作把手。