6.一種取向設(shè)備，其特征在于，待取向基板上設(shè)置有位置標(biāo)記和校驗(yàn)標(biāo)記，所述設(shè)備包括用于承載待取向基板的載臺(tái)，所述設(shè)備還包括：

圖像采集裝置，用于采集位置標(biāo)記圖像和校驗(yàn)標(biāo)記圖像；

校驗(yàn)裝置，與所述圖像采集裝置連接，所述校驗(yàn)標(biāo)記包括位置指示標(biāo)，

所述校驗(yàn)裝置包括：第一分析處理單元、第二分析處理單元、第一判定單元、和校驗(yàn)單元；

所述第一分析處理單元，用于對(duì)位置標(biāo)記圖像進(jìn)行分析處理，獲得基板相對(duì)于載臺(tái)的當(dāng)前放置方向；

所述第二分析處理單元，用于對(duì)位置指示標(biāo)圖像進(jìn)行分析處理，獲得基板相對(duì)于載臺(tái)的預(yù)定放置方向；

所述第一判定單元，用于判定基板相對(duì)于載臺(tái)的當(dāng)前放置方向和預(yù)定放置方向是否一致；

所述校驗(yàn)單元，包括：第三分析處理單元和第二判定單元；

所述第三分析處理單元，用于當(dāng)基板的當(dāng)前放置方向和預(yù)定放置方向一致時(shí)，對(duì)校驗(yàn)標(biāo)記圖像進(jìn)行分析處理，獲得基板的取向參數(shù)；

所述第二判定單元，用于判定取向設(shè)備的預(yù)設(shè)運(yùn)行參數(shù)與基板的取向參數(shù)是否一致，當(dāng)取向設(shè)備的預(yù)設(shè)運(yùn)行參數(shù)與基板的取向參數(shù)一致時(shí)，結(jié)束校驗(yàn)。