[實用新型]等離子體燈絲氣體離子源裝置有效
| 申請號： | 201721875136.2 | 申請日： | 2017-12-26 |
| 公開（公告）號： | CN208111394U | 公開（公告）日： | 2018-11-16 |
| 發明（設計）人： | 蘇東藝;彭繼華 | 申請（專利權）人： | 廣州今泰科技股份有限公司;華南理工大學 |
| 主分類號： | H01J37/08 | 分類號： | H01J37/08 |
| 代理公司： | 廣州三環專利商標代理有限公司 44202 | 代理人： | 黃華蓮;郝傳鑫 |
| 地址： | 510070 廣東省廣州市經濟技*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 離化 纏繞 燈絲 氣體離子源裝置 等離子體 本實用新型 雜質原子 外側壁 進氣口 出口 被加工工件 離子源設備 燈絲組件 內側壁 捕獲 連通 發射 污染 | ||
1.一種等離子體燈絲氣體離子源裝置，其特征在于，包括均呈筒形的第一離化筒和第二離化筒，所述第一離化筒的一端設有第一進氣口且所述第一離化筒的另一端設有第一逸出口，所述第一離化筒的外側壁上纏繞有第一線圈，所述第一離化筒內設有燈絲組件；所述第二離化筒的一端與所述第一逸出口連通，所述第二離化筒的另一端設有第二逸出口，所述第二離化筒的外側壁上纏繞有第二線圈。
2.根據權利要求1所述的等離子體燈絲氣體離子源裝置，其特征在于，所述燈絲組件包括相對設置的燈絲和反射極板，所述反射極板位于所述燈絲和第一逸出口的中心線之間，所述燈絲和反射極板之間為并聯連接。
3.根據權利要求2所述的等離子體燈絲氣體離子源裝置，其特征在于，所述反射極板平行于所述第一逸出口的中心線。
4.根據權利要求2所述的等離子體燈絲氣體離子源裝置，其特征在于，所述燈絲組件的數量為偶數個，且所述燈絲組件呈對稱設置。
5.根據權利要求2所述的等離子體燈絲氣體離子源裝置，其特征在于，所述反射極板的材質為難熔金屬。
6.根據權利要求1所述的等離子體燈絲氣體離子源裝置，其特征在于，所述第二離化筒上設有第二進氣口。
7.根據權利要求1所述的等離子體燈絲氣體離子源裝置，其特征在于，還包括聚焦線圈，所述聚焦線圈位于第二離化筒之外并對應所述第二逸出口設置，所述聚焦線圈的軸線和所述第二逸出口的軸線平行或者重合。
8.根據權利要求1所述的等離子體燈絲氣體離子源裝置，其特征在于，所述第二逸出口上設有端蓋板，所述第二離化筒與所述端蓋板絕緣，所述燈絲的正極和所述端蓋板均接地設置。
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