技術領域

本實用新型屬于X射線成像技術領域，具體涉及一種真空飛行管道的軟X射線成像裝置。

背景技術

X射線成像是科學研究和工業生產領域廣泛使用的一種技術。X射線具有很強的透射能力，能夠穿透樣品，在記錄設備上形成物體的透射圖像，可以在不破壞樣品形貌的條件下對樣品進行透視成像。X射線成像通常是利用樣品內部不同部位對X射線吸收不同形成透視圖像。對于質量較輕，厚度很薄的樣品，由于硬X射線成像產生的吸收差別不大，需要利用軟X射線進行成像以提高成像的對比度和分辨能力。然而軟X射線在大氣中傳播會被空氣強烈吸收，使得軟X射線圖像信號強度變弱，成像質量下降。因此使用軟X射線成像時候，通常將樣品放置在真空測試環境下，以避免空氣吸收對軟X射線信號造成影響。由于將整套成像裝置放置在真空測試環境中會明顯增加樣品檢測的成本，并且降低測試的效率，這限制了軟 X射線成像在制造業產品檢測中普及應用。

實用新型內容

有鑒于此，本實用新型的目的是提供一種真空飛行管道的軟X射線成像裝置，能夠對大氣環境下的樣品進行軟X射線成像。

本實用新型是通過下述技術方案實現的：

一種真空飛行管道的軟X射線成像裝置，包括：X射線管、樣品臺、真空飛行管道及X 射線相機；

所述X射線管用于通過內部的X射線發射源點向外發射軟X射線；

所述真空飛行管道的兩相對端面加工有能夠使軟X射線通過的同軸通孔，通過在兩個所述通孔上分別安裝入射鈹窗和出射鈹窗將其封閉，真空飛行管道內部為真空狀態；

整體連接關系如下：真空飛行管道位于X射線管和X射線相機之間，用于固定樣品的樣品臺位于X射線管和真空飛行管道之間，且真空飛行管道的入射鈹窗與樣品臺緊貼，出射鈹窗與X射線相機的記錄面緊貼；X射線管的X射線發射源點、樣品的中心、入射鈹窗和出射鈹窗的中心及X射線相機的記錄面中心位于同一條直線上。

進一步的，所述X射線發射源點到X射線相機的記錄面之間的距離與X射線發射源點到樣品之間的距離的比值與樣品設定的成像放大倍率相同。

進一步的，所述真空飛行管道的長度根據設定的成像放大倍率來確定。

進一步的，所述真空飛行管道采用金屬材料。

進一步的，所述樣品臺采用塑料、聚乙烯或尼龍薄片材料。

有益效果：(1)本實用新型能夠對大氣環境下的樣品進行軟X射線成像，通過真空飛行管道使軟X射線在透射樣品后在真空飛行管道中傳播，大幅減少了軟X射線在空氣中的傳播距離，有效降低了空氣對軟X射線強烈吸收，提高了成像圖像的質量，提高了軟X射線成像的信號強度和信噪比，降低了軟X射線成像技術在制造業產品檢測中應用成本，提高了檢測效率。

(2)本實用新型的軟X射線通過入射鈹窗和出射鈹窗穿過真空飛行管道，減少了軟X射線從大氣進入真空飛行管道及從真空飛行管道出射到X射線相機時經過窗口材料造成的衰減。

(3)本實用新型的X射線發射源點和樣品之間的距離小于樣品和X射線相機之間的距離，可以獲得樣品的放大的透射圖像。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖。

其中，1-X射線管，2-樣品臺，3-真空飛行管道，4-X射線相機，5-X射線發射源點，6-X 射線管出光口，7-入射鈹窗，8-出射鈹窗，9-樣品。

具體實施方式

下面結合附圖并舉實施例，對本實用新型進行詳細描述。

本實用新型提供了一種真空飛行管道的軟X射線成像裝置，參見附圖1，包括：X射線管 1、樣品臺2、真空飛行管道3及X射線相機4；

所述X射線管1用于發射軟X射線，其內部設有X射線發射源點5，端面加工有X射線管出光口6；

所述真空飛行管道3為兩端封閉的柱形殼體，其兩端面分別加工有軸向通孔，所述軸向通孔上分別安裝有入射鈹窗7和出射鈹窗8將其封閉，真空飛行管道3內部為真空狀態；真空飛行管道3的長度根據設定的成像放大倍率來確定，其外形為方形或圓形，其軸向通孔的大小能夠保證圓錐形的軟X射線束通過，其材料采用金屬；

所述樣品臺2采用對X射線吸收較少的塑料、聚乙烯或者尼龍薄片；