1.一種三軸硅微加速度計，其特征在于，包括第一敏感組件與第二敏感組件；

所述第一敏感組件包括第一敏感單元與第二敏感單元，所述第一敏感單元的敏感方向與所述第二敏感單元的敏感方向正交設置；

所述第二敏感組件包括第三敏感單元與第四敏感單元，所述第三敏感單元的敏感方向與第四敏感單元的敏感方向正交設置；

所述第一敏感組件與所述第二敏感組件垂直正交設置，敏感X、Y、Z方向加速度。

2.根據權利要求1所述的三軸硅微加速度計，其特征在于，還包括殼體，所述殼體與所述第一敏感組件與第二敏感組件相匹配，用于固定支撐所述第一敏感組件與第二敏感組件的正交結構。

3.根據權利要求1所述的三軸硅微加速度計，其特征在于，所述敏感單元包括梳齒式差動電容結構，所述梳齒式差動電容結構包括動齒與定齒，所述動齒與定齒交錯間隔設置，所述動齒設置于兩個所述定齒之間，且所述動齒相對于相鄰的兩個定齒偏置設置。

4.根據權利要求3所述的三軸硅微加速度計，其特征在于，所述敏感單元包括質量塊，所述質量塊與所述動齒連接，用于帶動所述動齒運動。

5.根據權利要求1所述的三軸硅微加速度計，其特征在于，還包括檢測電路，所述檢測電路分別與第一敏感組件與第二敏感組件電連接，用于檢測所述第一敏感組件與第二敏感組件的電容變化。

6.根據權利要求5所述的三軸硅微加速度計，其特征在于，所述檢測電路包括激勵信號發生電路、電容檢測電路與信號放大調理電路；

所述激勵信號發生電路與所述電容檢測電路電連接，用于為所述電容檢測電路提供激勵信號；

所述電容檢測電路用于檢測所述第一敏感組件與第二敏感組件電容變化，輸出電容變化信號；

所述信號放大調理電路與所述電容檢測電路電連接，用于對所述電容檢測電路輸出的電容變化信號放大并進行濾波處理。

7.根據權利要求6所述的三軸硅微加速度計，其特征在于，所述電容檢測電路包括第一電容檢測電路與第二電容檢測電路，所述第一電容檢測電路用于檢測所述第一敏感組件電容變化，所述第二電容檢測電路用于檢測所述第二敏感組件電容變化。

8.根據權利要求7所述的三軸硅微加速度計，其特征在于，所述信號放大調理電路包括第一信號放大調理電路與第二信號放大調理電路，所述第一信號放大調理電路用于對所述第一電容檢測電路輸出的電容變化信號放大并進行濾波處理，所述第二信號放大調理電路用于對所述第二電容檢測電路輸出的電容變化信號放大并進行濾波處理。

9.根據權利要求5所述的三軸硅微加速度計，其特征在于，所述檢測電路還包括溫度檢測電路，所述溫度檢測電路用于檢測溫度變化。

10.一種三軸硅微加速度計，其特征在于，包括：

第一敏感組件，包括正交設置的第一單軸加速度計與第二單軸加速度計，所述第一單軸加速度計與第二單軸加速度計分別包括多個敏感單元；

第二敏感組件，包括正交設置的第三單軸加速度計與第四單軸加速度計，第三單軸加速度計與第四單軸加速度計分別包括多個敏感單元；

所述第一敏感組件與所述第二敏感組件垂直正交設置，敏感X、Y、Z方向加速度。