本發(fā)明涉及一種氣體濃度檢測裝置和氣體濃度檢測方法，包括真空的檢測腔體、氣體濃度檢測傳感器、真空的取樣元件以及檢測分析儀；取樣元件與檢測腔體連接，檢測腔體與外部存儲待檢測氣體的密封腔體連接，氣體濃度檢測傳感器設(shè)置于檢測腔體內(nèi)，檢測分析儀分別與氣體濃度檢測傳感器以及取樣元件連接。上述氣體濃度檢測裝置，通過氣體濃度檢測傳感器和真空的檢測腔體對氣體進行濃度檢測，可以得到實時準(zhǔn)確的檢測結(jié)果，通過取樣元件對密封腔體內(nèi)的氣體進行取樣，并利用檢測分析儀分析得到更為精確的檢測結(jié)果，而且通過檢測分析儀對比兩種濃度檢測結(jié)果，判斷傳感器是否發(fā)生故障，從而避免了因傳感器故障導(dǎo)致獲得錯誤的濃度信息，使檢測結(jié)果更為準(zhǔn)確。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請涉及檢測領(lǐng)域，特別是涉及一種氣體濃度檢測裝置和氣體濃度檢測方法。

背景技術(shù)

隨著電子技術(shù)的發(fā)展，對電子器件的封裝過程要求越來越嚴格，當(dāng)封裝過程中存在“氫效應(yīng)”時，會改變器件的使用性能，導(dǎo)致器件不正常的工作，使器件失效，最終大大縮短器件的使用壽命。為了能解決器件的氫效應(yīng)問題，需要對器件的抗“氫中毒”能力進行快速評價。這需要在高溫、高壓的氫氣氣體中加速器件氫效應(yīng)的效果，因此我們需要對高溫、高壓腔體中的氫氣濃度進行精確控制，需要對氫氣濃度進行實時檢測。

目前，主要通過設(shè)置氣體濃度檢測傳感器進行氣體濃度檢測，因高溫高壓環(huán)境，容易使氣體濃度檢測傳感器造成損壞，而且當(dāng)氣體濃度檢測傳感器得多次檢測結(jié)果對比誤差較小時，難以判斷是氣體濃度本身發(fā)生了變化還是氣體濃度檢測傳感器出現(xiàn)了故障，無法獲得準(zhǔn)確的氣體濃度檢測結(jié)果。

發(fā)明內(nèi)容

基于此，有必要針對難以判斷是氣體濃度本身發(fā)生了變化還是氣體濃度檢測傳感器出現(xiàn)了故障，無法獲得準(zhǔn)確的氣體濃度檢測結(jié)果的問題，提供一種準(zhǔn)確的氣體濃度檢測裝置和氣體濃度檢測方法。

一種氣體濃度檢測裝置，包括真空的檢測腔體、氣體濃度檢測傳感器、真空的取樣元件以及用于接收氣體濃度檢測傳感器發(fā)送的傳感器檢測結(jié)果，并對取樣元件中的取樣氣體進行濃度分析，得到取樣檢測結(jié)果，通過對比傳感器檢測結(jié)果與取樣檢測結(jié)果，判斷氣體濃度檢測傳感器是否故障的檢測分析儀；

取樣元件與檢測腔體連接，檢測腔體與外部存儲待檢測氣體的密封腔體連接，氣體濃度檢測傳感器設(shè)置于檢測腔體內(nèi)，檢測分析儀分別與氣體濃度檢測傳感器以及取樣元件連接。

上述氣體濃度檢測裝置，利用氣體濃度檢測傳感器和真空的檢測腔體對外部存儲待檢測氣體的密封腔體中的氣體進行濃度檢測，可以得到實時準(zhǔn)確的檢測結(jié)果，通過真空的取樣元件對氣體進行取樣，并通過檢測分析儀分析得到取樣元件中氣體的濃度檢測結(jié)果，對氣體濃度進行二次檢測得到更為精確的檢測結(jié)果，而且通過檢測分析儀對比通過傳感器和取樣元件獲得的濃度檢測結(jié)果，可以判斷氣體濃度檢測傳感器是否發(fā)生故障，從而避免了因氣體濃度檢測傳感器故障導(dǎo)致獲得錯誤的濃度信息，使檢測結(jié)果更為準(zhǔn)確。

在其中一個實施例中，還包括溫度調(diào)節(jié)器，檢測腔體通過溫度調(diào)節(jié)器與存儲待檢測氣體的密封腔體連接。

在其中一個實施例中，檢測分析儀還包括顯示器，顯示器設(shè)置于檢測分析儀。

在其中一個實施例中，還包括真空處理組件，真空處理組件與檢測腔體連接。

在其中一個實施例中，真空處理組件包括機械真空泵和/或分子真空泵。

在其中一個實施例中，還包括真空度檢測儀，真空度檢測儀連接于檢測腔體與真空處理組件之間。

在其中一個實施例中，檢測腔體的容積小于存儲待檢測氣體的密封腔體容積的1％。

在其中一個實施例中，還包括通斷控制組件，通斷控制組件包括第一控制閥、第二控制閥、第三控制閥以及第四控制閥；

存儲待取樣氣體的密封腔體與檢測腔體通過第一控制閥連接，真空處理組件與檢測腔體通過第二控制閥連接，取樣元件通過第三控制閥與檢測腔體連接。