[發明專利]蝕刻生產線的監控裝置在審
| 申請號： | 201711302275.0 | 申請日： | 2017-12-10 |
| 公開（公告）號： | CN109905971A | 公開（公告）日： | 2019-06-18 |
| 發明（設計）人： | 王思 | 申請（專利權）人： | 王思 |
| 主分類號： | H05K3/06 | 分類號： | H05K3/06 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 710000 陜西省西安*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 監控裝置 蝕刻 顯影段 剝膜 水位感應器 溫度感應器 計算裝置 監控水位 人工監控 生產過程 良品率 監控 入板 應用 | ||
【權利要求書】：
1.蝕刻生產線的監控裝置，包括顯影段監控裝置、蝕刻段監控裝置和剝膜段監控裝置，其特征在于：所述顯影段監控裝置、所述蝕刻段監控裝置和所述剝膜段監控裝置均設置有監控入板數量的計算裝置，所述顯影段監控裝置、所述蝕刻段監控裝置和所述剝膜段監控裝置均設置有用于監控水位的水位感應器，所述顯影段監控裝置、所述蝕刻段監控裝置和所述剝膜段監控裝置均設置有用于監控溫度的溫度感應器。
2.所述顯影段監控裝置的計算裝置與顯影輸送變頻器電連接，所述蝕刻段監控裝置的計算裝置與蝕刻輸送變頻器電連接，所述剝膜段監控裝置與剝膜輸送變頻器電連接。
3.所述顯影段監控裝置的水位感應器與用于控制顯影液流量的顯影磁控開關電連接，所述蝕刻段監控裝置的水位感應器與用于控制蝕刻液流量的蝕刻磁控開關電連接，所述剝膜段監控裝置的水位感應器與用于控制水流量的剝膜液磁控開關電連接。
4.所述顯影段監控裝置的溫度感應器分別與顯影液加熱器和顯影液吹風機電連接，所述蝕刻段監控裝置的溫度感應器分別與蝕刻液加熱器和蝕刻液吹風機電連接，所述剝膜段監控裝置的溫度感應器分別與剝膜液加熱器和剝膜液吹風機電連接。
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