本發明涉及一種可旋轉的探針卡,將原一整塊PCB探針卡拆分成兩部分，外圈卡內邊上有以圓心中心對稱的3個半圓空心孔，1個大半圓空心孔和2相同大小的小半圓空心孔，內圈卡外邊上有以圓心中心對稱的8個半圓空心孔，8個半圓空心孔為一大一小間隔排列，這樣內圈旋轉放置后，只要內圈卡外邊上的一個大半圓空心孔與外圈卡內邊上一個大半圓空心孔對齊，就能保證另有一個小半圓空心孔對應對齊。實現內圈每90度旋轉后再連接固定，從而能夠避免因探針卡的方向錯誤而無法使用的問題，并且配合晶圓的方向旋轉，一定可以達到預期的測試方向，從而保證數據也能達到預期的效果，無需后期處理，也能讓針卡公司不必重新制作探針卡，節省了大量時間和成本。

技術領域

本發明涉及一種晶圓測試裝置，特別涉及一種可旋轉的探針卡。

背景技術

集成電路在晶圓測試時，探針卡是必不可少的一部分。在探針卡制作前期，需要根據晶圓上每個芯片的大小和坐標來確定每根針的具體位置，由于晶圓方向問題很容易將XY坐標弄反，導致針卡可能無法使用，并且一旦針卡制作完成，其擺放在探針臺上的位置是固定的，一旦和預期測試方向不一致只能通過旋轉晶圓來解決，這樣就可能使測試數據和預期不匹配。

晶圓是圓的，但是上面的芯片可不是圓的，上下左右分別會有不同數量的扎針點，這就規定了探針卡的方向其實是唯一的，但是有些時候提供晶圓資料的方向出錯或者針卡公司把方向弄錯了，就會導致探針卡無法使用，或者需要旋轉晶圓才能使用。

圖1為現有的探針卡結構圖，現有的探針卡都是一整塊完整的圓形PCB，人為分為內圈和外圈，內圈為測試區，外圈中沒有任何線路僅僅為固定用的非測試區，在內圈和外圈分區的圓形線上存在以圓形圓心為中心對稱的三個空心孔，位置和大小都是固定的，其中一個空心孔1較大，其余兩個空心孔2和3大小相同，這三個空心孔的位置和大小是固定的，用來定位方向固定在探針臺上，壓點是測試機硬件相連的測試壓點。

探針卡一旦制作完成后，其方向是固定的，只能通過旋轉晶圓才能完全匹配針卡方向，這必然會導致測試的方向與預期方向不一致，而且需要后期對數據進行處理，非常麻煩。

發明內容

本發明是針對探針卡制作后沒有可變動性導致測試耗時耗成本的問題，提出了一種可旋轉的探針卡,本發明從探針卡的結構入手，使探針卡可以分離并旋轉，能夠做到90/180/270/360四個角度的擺放，避免針卡的制作失誤造成的影響，和達成與預期數據一致的目的。

本發明的技術方案為：一種可旋轉的探針卡，分為內圈卡和外圈卡，在內圈卡的外邊上，在以圓心中心對稱的4個凸出的定位槽，在外圈卡內邊上，以圓心中心對稱同樣有對應大小匹配的4個凹槽，能讓內圈卡的空位槽固定在外圈卡里面，在內圈卡和外圈卡對應固定后的槽上面用蓋板扣扣住鎖定；

外圈卡內邊上有以圓心中心對稱的3個半圓空心孔，1個大半圓空心孔和2相同大小的小半圓空心孔，內圈卡外邊上有以圓心中心對稱的8個半圓空心孔，8個半圓空心孔為一大一小間隔排列，內圈卡外邊上大小半圓空心孔的孔徑與外圈卡內邊上大小半圓空心孔孔徑對應相等；這樣內圈旋轉放置后，只要內圈卡外邊上的一個大半圓空心孔與外圈卡內邊上一個大半圓空心孔對齊，就能保證另有一個內圈卡外邊上的一個小半圓空心孔與外圈卡內邊上一個小半圓空心孔對齊。

本發明的有益效果在于：本發明可旋轉的探針卡,通過改造探針卡的結構，使內圈和外圈分離，完成旋轉動作后再連接固定，從而能夠避免因探針卡的方向錯誤而無法使用的問題，并且配合晶圓的方向旋轉，一定可以達到預期的測試方向，從而保證數據也能達到預期的效果，無需后期處理，也能讓針卡公司不必重新制作探針卡，節省了大量時間和成本。

附圖說明

圖1為本發明現有探針卡結構示意圖；

圖2為本發明可旋轉的探針卡結構示意圖。

具體實施方式