1.一種基于納米NiO/AlGaN異質結構的倒置式快速紫外光響應器件，其特征在于:其包括藍寶石基底層、納米NiO/AlGaN異質結構層和透明電極層。

2.根據權利要求1所述的基于納米NiO/AlGaN異質結構的倒置式快速紫外光響應器件，其特征在于:基底層為藍寶石襯底；納米NiO/AlGaN異質結構層包括AlN高溫緩沖層、n-AlGaN薄膜層、NiO籽晶層及納米NiO片狀結構層；透明接觸電極層是具有0.1cm溝道并鍍有ITO透明電極的玻璃基片層。

3.根據權利要求1所述的基于納米NiO/AlGaN異質結構的倒置式紫外光響應器件，其特征在于:該納米NiO/AlGaN異質結構層中，異質結構為在n-AlGaN薄膜表面生長的納米NiO片狀結構層。

4.權利要求1的基于納米NiO/AlGaN異質結構的倒置式紫外光響應器件的制備方法，其特征在于：

①采用低壓有機化學氣相沉積方法，并在設備上配有原位反射監視儀，以(0001)晶向藍寶石為襯底，首先將反應室溫度升高到1200℃，通入氫氣處理10分鐘，隨后將反應室溫度降至900℃，依次生長AlN高溫緩沖層，厚度為200nm及n-AlGaN薄膜層，其厚度為500nm，以三甲基鎵(TMGa)和三甲基鋁(TMAl)為鎵源和鋁源，以NH₃作為氮源，n型摻雜劑采用硅烷(SiH₄)，生長溫度為1000℃；

②將50mM乙酸鎳溶于乙醇，制得籽晶溶液；將生長的n-AlGaN襯底置于旋涂機上，將配置好的籽晶溶液滴于表面，靜置5分鐘按照2500轉/分轉速進行旋涂，旋涂時間為5min，隨后將生長有籽晶的襯底置于快速加熱臺，在200℃條件下快速加熱15分鐘后，隨后自然冷卻到室溫；

③將0.85g硝酸鎳和0.70g六次甲基四胺溶于100mL水，快速攪拌均勻，制得反應溶液；

④將步驟②生長有NiO籽晶層的n-AlGaN薄膜襯底片浸入步驟③混合溶液中，于90℃溫度反應5小時，反應結束取出在NiO籽晶層生長有NiO納米片狀結構層的AlGaN薄膜襯底片，并用水洗滌、干燥；

⑤將具有0.1cm溝道并鍍有ITO透明電極的玻璃基片，貼于步驟④所得NiO納米片狀結構層表面，并加以固定。