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[發明專利]金屬層?絕緣層?金屬層電容器及其形成方法在審

專利信息
申請號: 201710777336.2 申請日: 2017-09-01
公開(公告)號: CN107591388A 公開(公告)日: 2018-01-16
發明(設計)人: 丁啟源;王富中;楊雙越;李建明 申請(專利權)人: 格科微電子(上海)有限公司
主分類號: H01L23/522 分類號: H01L23/522
代理公司: 暫無信息 代理人: 暫無信息
地址: 201203 上海市*** 國省代碼: 上海;31
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 金屬 絕緣 電容器 及其 形成 方法
【權利要求書】:

1.一種金屬層-絕緣層-金屬層電容器的形成方法,適于應用于集成電路的片內電容,其特征在于,

由下至上形成第一金屬層、層間金屬層、第二金屬層,各金屬層之間由絕緣層彼此間隔;

第一金屬層包括第一金屬層A區域和第一金屬層B區域,層間金屬層包括層間金屬層A區域和層間金屬層B區域,第一金屬層A區域和層間金屬層A區域對應構成MIM_A電容器,第一金屬層B區域和層間金屬層B區域對應構成MIM_B電容器;

MIM_A電容器的下極板第一金屬層A區域與MIM_B電容器的上極板層間金屬層B區域通過第二金屬層的一部分連線相連,MIM_A電容器的上極板層間金屬層A區域與MIM_B電容器的下極板第一金屬層B區域通過第二金屬層的另一部分連線相連,以降低層間金屬層的阻抗。

2.根據權利要求1所述的金屬層-絕緣層-金屬層電容器的形成方法,其特征在于,MIM_A電容器和MIM_B電容器沿著一個方向排列,連接MIM_A電容器和MIM_B電容器的第二金屬層的連線沿著所述方向延伸。

3.根據權利要求1所述的金屬層-絕緣層-金屬層電容器的形成方法,其特征在于,MIM_A電容器和MIM_B電容器沿著一個方向排列且在另一方向上交錯耦合設置,連接MIM_A電容器和MIM_B電容器的第二金屬層的連線沿著所述另一方向延伸。

4.根據權利要求1所述的金屬層-絕緣層-金屬層電容器的形成方法,其特征在于,第二金屬層的面積小于層間金屬層、第一金屬層的面積。

5.根據權利要求1所述的金屬層-絕緣層-金屬層電容器的形成方法,其特征在于,層間金屬層的厚度小于第一金屬層、第二金屬層的厚度。

6.根據權利要求1所述的金屬層-絕緣層-金屬層電容器的形成方法,其特征在于,層間金屬層、第一金屬層分別通過多個通孔與第二金屬層相連。

7.一種金屬層-絕緣層-金屬層電容器,適于應用于集成電路的片內電容,其特征在于,

由下至上包括第一金屬層、層間金屬層、第二金屬層,各金屬層之間由絕緣層彼此間隔;

第一金屬層包括第一金屬層A區域和第一金屬層B區域,層間金屬層包括層間金屬層A區域和層間金屬層B區域,第一金屬層A區域和層間金屬層A區域對應構成MIM_A電容器,第一金屬層B區域和層間金屬層B區域對應構成MIM_B電容器;

MIM_A電容器的下極板第一金屬層A區域與MIM_B電容器的上極板層間金屬層B區域通過第二金屬層的一部分連線相連,MIM_A電容器的上極板層間金屬層A區域與MIM_B電容器的下極板第一金屬層B區域通過第二金屬層的另一部分連線相連,以降低層間金屬層的阻抗。

8.根據權利要求7所述的金屬層-絕緣層-金屬層電容器,其特征在于,MIM_A電容器和MIM_B電容器沿著一個方向排列,連接MIM_A電容器和MIM_B電容器的第二金屬層的連線沿著所述方向延伸。

9.根據權利要求7所述的金屬層-絕緣層-金屬層電容器,其特征在于,MIM_A電容器和MIM_B電容器沿著一個方向排列且在另一方向上交錯耦合設置,連接MIM_A電容器和MIM_B電容器的第二金屬層的連線沿著所述另一方向延伸。

10.根據權利要求7所述的金屬層-絕緣層-金屬層電容器,其特征在于,第二金屬層的面積小于層間金屬層、第一金屬層的面積。

11.根據權利要求7所述的金屬層-絕緣層-金屬層電容器,其特征在于,層間金屬層的厚度小于第一金屬層、第二金屬層的厚度。

12.根據權利要求7所述的金屬層-絕緣層-金屬層電容器,其特征在于,層間金屬層、第一金屬層分別通過多個通孔與第二金屬層相連。

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