1.一種制備BiGaO3薄膜材料的反應裝置，其特征在于：

反應裝置包括有鉍前驅體源容器1、鉍前驅體管路手動閥K1、鉍前驅體管路自動閥AK1、鉍前驅體載氣管路質量流量控制器MFC1、鎵前驅體源容器2、鎵前驅體管路手動閥K2、鎵前驅體管路自動閥AK2、鎵前驅體載氣管路質量流量控制器MFC2、氧前驅體源容器3、氧前驅體管路手動閥K3、氧前驅體管路自動閥AK3、氧前驅體載氣管路質量流量控制器MFC3、惰性氣體源容器4、惰性氣體管路手動閥K4、真空反應腔、真空泵、真空泵進氣口自動閥門AK4、設備控制器，真空反應腔中設有電加熱器和溫度傳感器，設備控制器可以是PLC、單片機系統、計算機或專門設計的電路系統；鉍前驅體源1、鎵前驅體源2、氧前驅體源3的容器均設有電加熱器和半導體制冷器；由設備控制器控制鉍前驅體源1、鎵前驅體源2、氧前驅體源3的容器的電加熱器和半導體制冷器的工作狀態，以使鉍前驅體源1、鎵前驅體源2、氧前驅體源3的溫度恒定在設定的溫度值；

鉍前驅體源容器1的出口通過氣體管路依次連接到鉍前驅體管路手動閥K1、鉍前驅體管路自動閥AK1、真空反應腔，鎵前驅體源2的出口通過氣體管路依次連接到鎵前驅體管路手動閥K2、鎵前驅體管路自動閥AK2、真空反應腔，氧前驅體源容器3的出口通過氣體管路依次連接到氧前驅體管路手動閥K3、氧前驅體管路自動閥AK3、真空反應腔，惰性氣體源4的出口通過氣體管路連接到惰性氣體管路手動閥K4，再通過分支管路分別連接到鉍前驅體載氣管路質量流量控制器MFC1、鎵前驅體載氣管路質量流量控制器MFC2、氧前驅體載氣管路質量流量控制器MFC3，鉍前驅體載氣管路質量流量控制器MFC1的出口通過三通連接件連接在鉍前驅體管路自動閥AK1與真空反應腔之間的氣體管路上，鎵前驅體載氣管路質量流量控制器MFC2的出口通過三通連接件連接在鎵前驅體管路自動閥AK2與真空反應腔之間的氣體管路上，氧前驅體載氣管路質量流量控制器MFC3的出口通過三通連接件連接在鉍前驅體管路自動閥AK3與真空反應腔之間的氣體管路上，真空反應腔的出口通過管路依次連接到真空泵進氣口自動閥門AK4、真空泵的進氣口；

鉍前驅體源容器1、鉍前驅體管路自動閥AK1、鉍前驅體載氣管路質量流量控制器MFC1、鎵前驅體源容器2、鎵前驅體管路自動閥AK2、鎵前驅體載氣管路質量流量控制器MFC2、氧前驅體源容器3、氧前驅體管路自動閥AK3、氧前驅體載氣管路質量流量控制器MFC3、真空反應腔、真空泵、真空泵進氣口自動閥門AK4、真空反應腔中的電加熱器、溫度傳感器、所述容器的電加熱器和半導體制冷器均通過電纜連接到設備控制器均通過電纜連接到設備控制器，由設備控制器集中控制各自的工作狀態；

溫度傳感器的采集數據通過電纜傳輸給設備控制器。

2.一種如權利要求1所述的反應裝置，其特征在于：鉍前驅體管路手動閥K1、鎵前驅體管路手動閥K2、氧前驅體管路手動閥K3、惰性氣體管路手動閥K4均由操作人員手動打開，不受控制器所控制，可以確保安全。