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[發(fā)明專(zhuān)利]一種LED氮化鎵襯底及其制備方法在審

專(zhuān)利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 201710407808.5 申請(qǐng)日: 2017-06-02
公開(kāi)(公告)號(hào): CN107170861A 公開(kāi)(公告)日: 2017-09-15
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 王榮華 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人: 王榮華
主分類(lèi)號(hào): H01L33/00 分類(lèi)號(hào): H01L33/00;H01L33/02;H01L33/32
代理公司: 北京華仲龍騰專(zhuān)利代理事務(wù)所(普通合伙)11548 代理人: 李靜
地址: 314100 浙江省嘉興市嘉善*** 國(guó)省代碼: 浙江;33
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摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 一種 led 氮化 襯底 及其 制備 方法
【權(quán)利要求書(shū)】:

1.一種LED氮化鎵襯底,其特征在于,包括LED氮化鎵襯底(1),所述LED氮化鎵襯底(1)由下至上包括下碳化硅層(6)、金屬層(9)、上碳化硅層(8)和氮化鎵層(7)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的LED氮化鎵襯底,其特征在于,所述氮化鎵層(7)的厚度為金屬層(9)的8-12倍。

3.一種如權(quán)利要求1-2任一所述的LED氮化鎵襯底的制備方法,其特征在于,包括以下步驟:

步驟一、將下碳化硅層(6)和上碳化硅層(8)各濺射一層金屬層(9),熔融鍵合在一起;

步驟二、將粘接在一起的下碳化硅層(6)和上碳化硅層(8)中的上碳化硅層(8)用機(jī)械拋磨的方法減薄至20-150微米后拋光,并進(jìn)行清洗,以上碳化硅層(8)做異質(zhì)襯底;

步驟三、將減薄后的上碳化硅層(8)連同與其粘接在一起的下碳化硅層(6)基底放入HVPE外延爐中,升溫至1020-1500℃,生長(zhǎng)氮化鎵層(7);

步驟四、生長(zhǎng)氮化鎵層(7)結(jié)束后,降溫至200-450℃,保持30-45min,繼續(xù)降溫至100-150℃,保持15-20min,然后降低至室溫,即獲得LED氮化鎵襯底(1)。

4.根據(jù)采用權(quán)利要求3所述的LED氮化鎵襯底的制備方法,其特征在于,所述氮化鎵層(7)厚度為上碳化硅層(8)厚度的4-6倍。

5.根據(jù)采用權(quán)利要求3所述的LED氮化鎵襯底的制備方法,其特征在于,所述金屬層(9)為A1、Cu、In、Sn或Au層。

6.一種采用權(quán)利要求1-2任一所述的LED氮化鎵襯底用于制備LED芯片。

7.根據(jù)采用權(quán)利要求6所述的LED氮化鎵襯底制備的LED芯片,其特征在于,所述LED芯片包括LED氮化鎵襯底(1)、第二電極(2)、氮化硼層(3)、石墨烯層(4)和第一電極(5);第一電極(5)設(shè)置在LED氮化鎵襯底(1)上,第二電極(2)設(shè)置在石墨烯層(4)上。

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