[發(fā)明專(zhuān)利]一種LED氮化鎵襯底及其制備方法在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201710407808.5 | 申請(qǐng)日: | 2017-06-02 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN107170861A | 公開(kāi)(公告)日: | 2017-09-15 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 王榮華 | 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人: | 王榮華 |
| 主分類(lèi)號(hào): | H01L33/00 | 分類(lèi)號(hào): | H01L33/00;H01L33/02;H01L33/32 |
| 代理公司: | 北京華仲龍騰專(zhuān)利代理事務(wù)所(普通合伙)11548 | 代理人: | 李靜 |
| 地址: | 314100 浙江省嘉興市嘉善*** | 國(guó)省代碼: | 浙江;33 |
| 權(quán)利要求書(shū): | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū): | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 led 氮化 襯底 及其 制備 方法 | ||
1.一種LED氮化鎵襯底,其特征在于,包括LED氮化鎵襯底(1),所述LED氮化鎵襯底(1)由下至上包括下碳化硅層(6)、金屬層(9)、上碳化硅層(8)和氮化鎵層(7)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的LED氮化鎵襯底,其特征在于,所述氮化鎵層(7)的厚度為金屬層(9)的8-12倍。
3.一種如權(quán)利要求1-2任一所述的LED氮化鎵襯底的制備方法,其特征在于,包括以下步驟:
步驟一、將下碳化硅層(6)和上碳化硅層(8)各濺射一層金屬層(9),熔融鍵合在一起;
步驟二、將粘接在一起的下碳化硅層(6)和上碳化硅層(8)中的上碳化硅層(8)用機(jī)械拋磨的方法減薄至20-150微米后拋光,并進(jìn)行清洗,以上碳化硅層(8)做異質(zhì)襯底;
步驟三、將減薄后的上碳化硅層(8)連同與其粘接在一起的下碳化硅層(6)基底放入HVPE外延爐中,升溫至1020-1500℃,生長(zhǎng)氮化鎵層(7);
步驟四、生長(zhǎng)氮化鎵層(7)結(jié)束后,降溫至200-450℃,保持30-45min,繼續(xù)降溫至100-150℃,保持15-20min,然后降低至室溫,即獲得LED氮化鎵襯底(1)。
4.根據(jù)采用權(quán)利要求3所述的LED氮化鎵襯底的制備方法,其特征在于,所述氮化鎵層(7)厚度為上碳化硅層(8)厚度的4-6倍。
5.根據(jù)采用權(quán)利要求3所述的LED氮化鎵襯底的制備方法,其特征在于,所述金屬層(9)為A1、Cu、In、Sn或Au層。
6.一種采用權(quán)利要求1-2任一所述的LED氮化鎵襯底用于制備LED芯片。
7.根據(jù)采用權(quán)利要求6所述的LED氮化鎵襯底制備的LED芯片,其特征在于,所述LED芯片包括LED氮化鎵襯底(1)、第二電極(2)、氮化硼層(3)、石墨烯層(4)和第一電極(5);第一電極(5)設(shè)置在LED氮化鎵襯底(1)上,第二電極(2)設(shè)置在石墨烯層(4)上。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類(lèi)目中不包括的電固體器件
H01L33-00 至少有一個(gè)電位躍變勢(shì)壘或表面勢(shì)壘的專(zhuān)門(mén)適用于光發(fā)射的半導(dǎo)體器件;專(zhuān)門(mén)適用于制造或處理這些半導(dǎo)體器件或其部件的方法或設(shè)備;這些半導(dǎo)體器件的零部件
H01L33-02 .以半導(dǎo)體為特征的
H01L33-36 .以電極為特征的
H01L33-44 .以涂層為特征的,例如鈍化層或防反射涂層
H01L33-48 .以半導(dǎo)體封裝體為特征的
H01L33-50 ..波長(zhǎng)轉(zhuǎn)換元件
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