1.一種硬脆材料小孔超精密加工方法，其特征在于，包括如下步驟，

步驟1，將電鍍金剛石刀具同軸固定在高精度氣體靜壓主軸上，將被加工工件固定在工件夾具上；所述的工件夾具固定在高精度氣體靜壓轉(zhuǎn)臺上，高精度氣體靜壓轉(zhuǎn)臺安裝在橫向氣體靜壓導(dǎo)軌副上；

步驟2，通過高精度氣體靜壓轉(zhuǎn)臺帶動被加工工件低速旋轉(zhuǎn)；

步驟3，通過高精度氣體靜壓主軸帶動電鍍金剛石刀具高速旋轉(zhuǎn)，并向下移動下刀到被加工工件的毛坯孔中；

步驟4，通過橫向氣體靜壓導(dǎo)軌副經(jīng)高精度氣體靜壓轉(zhuǎn)臺帶動被加工工件橫向移動進(jìn)行擴(kuò)孔；

步驟5，擴(kuò)孔達(dá)到小孔的設(shè)計(jì)要求后，保持電鍍金剛石刀具與孔壁的接觸，通過高精度氣體靜壓主軸帶動電鍍金剛石刀具向上移動提刀，提刀的同時(shí)對孔壁進(jìn)行修整，完成硬脆材料小孔超精密加工。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硬脆材料小孔超精密加工方法，其特征在于，步驟3中，低速旋轉(zhuǎn)的被加工工件和高速旋轉(zhuǎn)的電鍍金剛石刀具的旋轉(zhuǎn)方向相反，且轉(zhuǎn)速比為1：(1000-1500)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硬脆材料小孔超精密加工方法，其特征在于，步驟3中，電鍍金剛石刀具的直徑小于毛坯孔的直徑，毛坯孔的直徑小于小孔的設(shè)計(jì)直徑。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硬脆材料小孔超精密加工方法，其特征在于，步驟3中，通過調(diào)節(jié)高精度氣體靜壓主軸的高度，調(diào)節(jié)電鍍金剛石刀具進(jìn)入毛坯孔的深度，用于加工出不同深度的小孔。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硬脆材料小孔超精密加工方法，其特征在于，所述的工件夾具通過夾具連接板固定在高精度氣體靜壓轉(zhuǎn)臺上，高精度氣體靜壓轉(zhuǎn)臺通過下方設(shè)置的轉(zhuǎn)臺驅(qū)動裝置安裝在橫向氣體靜壓導(dǎo)軌副上。

6.如權(quán)利要求5所述的一種硬脆材料小孔超精密加工方法，其特征在于：所述高精度氣體靜壓轉(zhuǎn)臺通過兩方面進(jìn)行調(diào)節(jié)，一方面通過轉(zhuǎn)臺驅(qū)動裝置中的力矩電機(jī)驅(qū)動轉(zhuǎn)臺實(shí)現(xiàn)旋轉(zhuǎn)功能，另一方面通過轉(zhuǎn)臺驅(qū)動裝置中的編碼器控制轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)角度。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硬脆材料小孔超精密加工方法，其特征在于，所述電鍍金剛石刀具端部為電鍍的金剛石顆粒，金剛石顆粒磨削被加工工件。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硬脆材料小孔超精密加工方法，其特征在于，所述的高精度氣體靜壓主軸上設(shè)置在上下移動的升降機(jī)構(gòu)上。