[發(fā)明專利]一種可控硅夾具組件有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201710310842.0 | 申請日: | 2017-05-05 |
| 公開(公告)號: | CN106981461B | 公開(公告)日: | 2023-06-23 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 張源泉;維多 | 申請(專利權(quán))人: | 無錫應(yīng)達(dá)工業(yè)有限公司 |
| 主分類號: | H01L23/32 | 分類號: | H01L23/32;H01L23/367;H01L23/473;H01L23/40 |
| 代理公司: | 上海兆豐知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(有限合伙) 31241 | 代理人: | 章蔚強 |
| 地址: | 214028 *** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 可控硅 夾具 組件 | ||
【權(quán)利要求書】:
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