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[發明專利]一種硅片自動化檢測分類設備及其控制方法有效

專利信息
申請號: 201710293758.2 申請日: 2017-04-28
公開(公告)號: CN107093566B 公開(公告)日: 2019-11-22
發明(設計)人: 徐建紅 申請(專利權)人: 連江縣維佳工業設計有限公司
主分類號: H01L21/66 分類號: H01L21/66;H01L21/67
代理公司: 11390 北京和信華成知識產權代理事務所(普通合伙) 代理人: 胡劍輝<國際申請>=<國際公布>=<進入
地址: 350000 福建省福州市連江縣*** 國省代碼: 福建;35
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摘要:
搜索關鍵詞: 一種 硅片 自動化 檢測 分類 設備 及其 控制 方法
【權利要求書】:

1.一種硅片自動化檢測分類設備,包括傳輸臺(1)、傳輸帶(24)裝置(2)、自動分揀裝置(3)、控制處理裝置(4)、控制臺(5),其特征在于,還包括:第一超聲波探頭(6)、第二超聲波探頭(7)、高清攝像頭(8)、無影燈(9);所述傳輸臺(1)裝置包括主臺(3)、二級臺(22)、三級臺(23),所述二級臺(22)、三級臺(23)與主臺(3)垂直且均位于主臺(3)一側,所述主臺(3)還有檢測入口(211)與檢測出口(212),所述三級臺(23)位于檢測入口(211)一側,所述主臺(3)的末端為一級品區,所述二級臺(22)的末端為二級品區,所述三級臺(23)的末端為三級品區;所述傳輸帶(24)裝置(2)還包括傳輸帶(24),所述傳輸帶(24)設置在傳輸臺(1)上,所述傳輸帶(24)包括主傳送帶(241)、第二傳送帶(242)、第三傳送帶(243),所述主傳送帶(241)設置于主臺(3),所述第二傳送帶(242)設置于二級臺(22),所述第三傳送帶(243)設置于三級臺(23),所述傳輸帶(24)裝置(2)還包括主驅動電機(25)、第二驅動電機(26)、第三驅動電機(27),所述主驅動電機(25)與主傳送帶(241)電連接,所述第二驅動電機(26)與所述第二傳送帶(242)連接,所述第三驅動電機(27)與所述第三傳送帶(243)連接;所述主驅動電機(25)、第二驅動電機(26)、第三驅動電機(27)與控制處理裝置(4)電連接;所述自動分揀裝置(3)還包括可旋轉的第一機械臂(31)與第二機械臂(32),所述第一機械臂(31)與第二機械臂(32)上還分別設置有第一吸取裝置(33)與第二吸取裝置(34),所述自動分揀裝置(3)還包括第一機械臂(31)驅動裝置、第二機械臂(32)驅動裝置、第一吸取驅動裝置(37)、第二吸取驅動裝置(38),所述第一機械臂(31)驅動裝置與第一機械臂(31)電連接,所述第二機械臂(32)驅動裝置與第二機械臂(32)電連接,所述第一吸取驅動裝置(37)與第一吸取裝置(33)電連接,所述第二吸取驅動裝置(38)與第二吸取裝置(34)電連接;所述第一機械臂(31)驅動裝置、第二機械臂(32)驅動裝置、第一吸取驅動裝置(37)、第二吸取驅動裝置(38)與控制處理裝置(4)電連接;所述主臺(3)還設置有第一測試臺(10)與第二測試臺(11),所述第一測試臺(10)設置于主臺(3)與三級臺(23)連接位置的檢測入口(211)一側,所述第二測試臺(11)設置于主臺(3)與二級臺(22)連接位置的檢測入口(211)一側,所述第一測試臺(10)底部設置有第一超聲波探頭(6),所述第二測試臺(11)底部設置有第二超聲波探頭(7)、高清攝像頭(8)、無影燈(9),所述第一超聲波探頭(6)、第二超聲波探頭(7)、高清攝像頭(8)、無影燈(9)與控制處理裝置(4)電連接;所述控制臺(5)與所述控制處理裝置(4)電連接;所述控制臺(5)顯示檢測設備的運行狀態,并對檢測設備進行操作。

2.根據權利要求1所述的一種硅片自動化檢測分類設備,其特征在于,所述第二測試臺(11)還設置有電阻率測試儀(12),所述電阻率測試儀(12)分別與所述控制處理裝置(4)電連接。

3.根據權利要求2所述的一種硅片自動化檢測分類設備,其特征在于,所述傳輸帶(24)為絕緣材質。

4.根據權利要求1所述的一種硅片自動化檢測分類設備,其特征在于,所述自動分揀裝置(3)還設置有吸力控制裝置(13),所述吸力控制裝置(13)包括與所述第一吸取裝置(33)連接的第一吸力控制裝置(131)(13)以及與第二吸取裝置(34)連接的第二吸力控制裝置(132)(13),所述吸力控制裝置(13)與控制處理裝置(4)連接。

5.根據權利要求1所述的一種硅片自動化檢測分類設備,其特征在于,所述傳輸臺(1)的末端還設置有計數裝置(14),所述計數裝置(14)包括第一計數裝置(141)(14)、第二計數裝置(142)(14)、第三計數裝置(143)(14),所述第一計數裝置(141)(14)設置于主臺(3),所述第二計數裝置(142)(14)設置于二級臺(22),所述第三計數裝置(143)(14)設置于三級臺(23);所述計數裝置(14)與控制處理器電連接。

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