[發(fā)明專利]一種可集成化的光控分子開關(guān)器件及其制備方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201710251139.7 | 申請日： | 2017-04-18 |
| 公開（公告）號： | CN107093602B | 公開（公告）日： | 2019-01-22 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 楊國鋒;謝峰;汪金;張秀梅;鄭亞鵬 | 申請（專利權(quán)）人： | 合肥匯芯半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 主分類號： | H01L25/16 | 分類號： | H01L25/16;H01L51/00;H01L51/44;H01L51/48;H01L33/00;H01L33/24;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 合肥中谷知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 34146 | 代理人： | 洪玲 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市高新區(qū)黃山路6*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 集成化 光控 分子 開關(guān) 器件 及其 制備 方法 | ||
1.一種可集成化的光控分子開關(guān)器件，其特征在于：所述光控分子開關(guān)器件包括光控分子開關(guān)襯底，所述光控分子開關(guān)襯底上依次設(shè)有發(fā)光元件、光波導(dǎo)層和光控分子開關(guān)元件，所述發(fā)光元件和光控分子開關(guān)元件通過光波導(dǎo)層連接，所述發(fā)光元件包括至少兩個(gè)納米線LED，且其中至少有一個(gè)紫外光納米線LED和一個(gè)可見光納米線LED，所述光控分子開關(guān)元件由一個(gè)或多個(gè)二芳基乙烯化合物組成。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可集成化的光控分子開關(guān)器件，其特征在于：所述光波導(dǎo)層的材料采用SiNx或SiO2中的一種。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可集成化的光控分子開關(guān)器件，其特征在于：所述光控分子開關(guān)器件的尺寸不大于100μm。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可集成化的光控分子開關(guān)器件，其特征在于：所述光控分子開關(guān)襯底選自藍(lán)寶石、硅、氮化鎵、砷化鎵、氮化鋁或尖晶石中的一種。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可集成化的光控分子開關(guān)器件，其特征在于：所述二芳基乙烯化合物為二噻吩乙烯分子。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可集成化的光控分子開關(guān)器件，其特征在于：所述光波導(dǎo)層為SiNx薄膜，且SiNx薄膜上設(shè)有鈍化層，所述鈍化層為SiO2層。
7.一種可集成化的光控分子開關(guān)器件的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：
S1、在光控分子開關(guān)襯底上制備一層厚200-300nm SiO2層；
S2、將包括可見光和紫外光的納米線LED和光控分子開關(guān)元件移至上述步驟S1得到的SiO2層上，所述光控分子開關(guān)元件由一個(gè)或多個(gè)二芳基乙烯化合物組成；
S3、在所述SiO2層上制備光波導(dǎo)層，所述光波導(dǎo)層位于納米線LED與光控分子開關(guān)元件之間，作為LED光傳輸至光控分子開關(guān)元件的通道；
S4、在步驟S3所述光波導(dǎo)層上制備鈍化層。
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H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L25-00 由多個(gè)單個(gè)半導(dǎo)體或其他固態(tài)器件組成的組裝件
H01L25-03 .所有包含在H01L 27/00至H01L 51/00各組中同一小組內(nèi)的相同類型的器件，例如整流二極管的組裝件
H01L25-16 .包含在H01L 27/00至H01L 51/00各組中兩個(gè)或多個(gè)不同大組內(nèi)的類型的器件，例如構(gòu)成混合電路的
H01L25-18 .包含在H01L 27/00至H01L 51/00各組中兩個(gè)或多個(gè)同一大組的不同小組內(nèi)的類型的器件
H01L25-04 ..不具有單獨(dú)容器的器件
H01L25-10 ..具有單獨(dú)容器的器件
