[發明專利]化學品更換智能防呆系統及方法有效
| 申請號: | 201710218335.4 | 申請日: | 2017-04-05 |
| 公開(公告)號: | CN108695186B | 公開(公告)日: | 2021-07-20 |
| 發明(設計)人: | 趙德聞 | 申請(專利權)人: | 玄創半導體設備(上海)有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67;G07C9/00 |
| 代理公司: | 上海宏京知識產權代理事務所(普通合伙) 31297 | 代理人: | 鄧文武 |
| 地址: | 200942 上海市寶山*** | 國省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 化學品 更換 智能 系統 方法 | ||
1.化學品更換智能防呆方法,化學品更換智能防呆方法通過化學品更換智能防呆系統實現,所述化學品更換智能防呆系統包括設備化學品更換控制系統、化學品更換智能推車,所述設備化學品更換控制系統包括化學品更換防呆服務器、設備通信終端,所述設備通信終端與所述化學品更換防呆服務器通信連接,所述化學品更換防呆服務器通過所述設備通信終端與所述化學品更換智能推車通信連接,所述化學品更換防呆服務器包括設備化學品容器監控模塊、服務器化學品信息匹配模塊、智能推車對接模塊,所述化學品更換智能推車包括推車組合柜、推車化學品更換控制系統,所述推車組合柜包括若干化學品儲存分柜,所述推車化學品更換控制系統包括化學品儲存分柜監控模塊、化學品識別模塊、推車化學品信息匹配模塊、設備通信終端對接模塊、人機交互觸摸屏,操作人員通過所述人機交互觸摸屏與所述推車化學品更換控制系統進行信息交互,其特征是包括以下步驟:
⑴化學品更換防呆服務器根據設備通信終端發來的請求更換化學品信息向化學品更換智能推車發送作業指令,操作人員根據收到的作業指令將化學品更換智能推車移動至取品處啟動取品作業;
⑵推車化學品更換控制系統通過化學品儲存分柜監控模塊檢查推車組合柜內化學品儲存分柜的空閑狀態后根據有空閑分柜信息解鎖空閑分柜的柜門,操作人員將通過化學品識別模塊識別后的更換新品放入空閑分柜;
⑶化學品儲存分柜監控模塊根據推車化學品信息匹配模塊傳送的化學品識別模塊傳送來的更換新品信息與化學品更換防呆服務器傳送來的請求更換化學品信息比對一致的信息鎖定分柜柜門;
⑷操作人員將化學品更換智能推車移動至設備后通過設備通信終端對接模塊與對應的設備通信終端對接通信,化學品更換防呆服務器根據服務器化學品信息匹配模塊傳送來的更換新品信息與請求更換化學品信息比對一致的信息通過設備化學品容器監控模塊解鎖對應設備的請求更換化學品容器;
⑸化學品更換防呆服務器通過智能推車對接模塊向推車化學品更換控制系統傳送解鎖分柜柜門的指令,化學品儲存分柜監控模塊根據解鎖指令解鎖對應的分柜柜門,操作人員取出分柜內的更換新品進行更換化學品的作業。
2.根據權利要求1所述的化學品更換智能防呆方法,其特征在于,所述推車化學品更換控制系統還包括化學品容器容積檢測模塊,在步驟⑶過程中,化學品容器容積檢測模塊向化學品儲存分柜監控模塊傳送更換新品容器的容積信息,化學品儲存分柜監控模塊根據更換新品信息與請求更換化學品信息比對一致的信息、更換新品容器是滿容積的信息鎖定分柜柜門。
3.根據權利要求2所述的化學品更換智能防呆方法,其特征在于,在步驟⑷過程中,操作人員通過化學品識別模塊獲取請求更換化學品容器的信息,推車化學品信息匹配模塊將請求更換化學品容器的信息與化學品儲存分柜內的更換新品信息比對一致的信息通過設備通信終端對接模塊傳送給化學品更換防呆服務器,化學品更換防呆服務器根據服務器化學品信息匹配模塊傳送來的比對一致的信息、推車化學品信息匹配模塊傳送來的比對一致的信息通過設備化學品容器監控模塊解鎖對應設備的請求更換化學品容器。
4.根據權利要求3所述的化學品更換智能防呆方法,其特征在于,化學品更換智能防呆方法還包括以下后續步驟:
⑹操作人員將通過化學品識別模塊再次識別的更換下來的請求更換化學品容器放入空閑分柜,化學品儲存分柜監控模塊根據推車化學品信息匹配模塊傳送的請求更換化學品容器的信息與化學品儲存分柜內已取走的更換新品信息比對一致的信息鎖定分柜柜門。
5.根據權利要求4所述的化學品更換智能防呆方法,其特征在于,在步驟⑹過程中,化學品容器容積檢測模塊向化學品儲存分柜監控模塊傳送更換下來的請求更換化學品容器的容積信息,化學品儲存分柜監控模塊根據更換下來的請求更換化學品容器的信息與已取走的更換新品信息比對一致的信息、更換下來的請求更換化學品容器是空容積的信息鎖定分柜柜門。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





