[發明專利]一種顯影裝置以及顯影處理方法在審
| 申請號: | 201710205380.6 | 申請日: | 2017-03-31 |
| 公開(公告)號: | CN106873318A | 公開(公告)日: | 2017-06-20 |
| 發明(設計)人: | 沈楠 | 申請(專利權)人: | 昆山國顯光電有限公司 |
| 主分類號: | G03F7/30 | 分類號: | G03F7/30 |
| 代理公司: | 北京國昊天誠知識產權代理有限公司11315 | 代理人: | 許志勇 |
| 地址: | 215300 江蘇省*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 顯影 裝置 以及 處理 方法 | ||
1.一種顯影裝置,其特征在于,所述顯影裝置包括:顯影噴嘴、連接管路以及顯影箱,其中:
所述顯影箱用于盛放顯影液;
所述連接管路用于連通所述顯影噴嘴與所述顯影箱,將所述顯影液輸送至所述顯影噴嘴;
所述顯影噴嘴用于將所述顯影液噴淋至待顯影的目標區域,且所述顯影噴嘴的位置可調。
2.如權利要求1所述的顯影裝置,其特征在于,所述顯影裝置還包括:固定裝置,其中:
所述固定裝置用于固定所述顯影噴嘴,所述顯影噴嘴在所述固定裝置上的固定位置可調。
3.如權利要求2所述的顯影裝置,其特征在于,所述固定裝置包括:支架和鎖緊結構,其中:
在所述鎖緊結構的非鎖緊狀態下,將所述顯影噴嘴調節至設定位置,所述設定位置為與所述待顯影的目標區域相對應的位置;
在所述顯影噴嘴調節到所述設定位置后,所述鎖緊結構將所述顯影噴嘴鎖緊至所述設定位置。
4.如權利要求1至3任一項所述的顯影裝置,其特征在于,
所述連接管路包含至少一個連接接口,所述顯影噴嘴通過其中一個所述連接接口與所述連接管路連接。
5.如權利要求4所述的顯影裝置,其特征在于,所述顯影噴嘴通過其中一個所述連接接口與所述連接管路連接,包括:
所述顯影噴嘴調整至設定位置后,通過所述設定位置對應的所述連接接口與所述連接管路連接,所述設定位置為與所述待顯影的目標區域相對應的位置。
6.如權利要求1至3、5任一項所述的顯影裝置,其特征在于,
所述顯影噴嘴的個數大于1,所述至少兩個顯影噴嘴的固定位置與所述待顯影的目標區域的位置相對應。
7.如權利要求6所述的顯影裝置,其特征在于,
所述至少兩個顯影噴嘴的固定位置相鄰;
或,所述至少兩個顯影噴嘴的固定位置互不相鄰;
或,所述至少兩個顯影噴嘴中至少兩個所述顯影噴嘴連的固定位置相鄰。
8.如權利要求7所述的顯影裝置,其特征在于,
所述顯影噴嘴的噴淋范圍根據所述待顯影的目標區域確定。
9.一種使用如權利要求1至8任一項所述的顯影裝置的顯影處理方法,其特征在于,包括:
確定待顯影的目標區域;
將所述顯影噴嘴調節至與所述待顯影的目標區域相對應的位置;
使用所述顯影噴嘴將顯影液噴淋至所述待顯影的目標區域進行顯影處理。
10.如權利要求9所述的顯影處理方法,其特征在于,所述確定待顯影的目標區域,包括:
確定設定區域內目標對象的實際尺寸;
將所述目標對象的實際尺寸與所述目標對象的設定尺寸進行對比;
確定所述實際尺寸與所述設定尺寸的差值大于設定值的所述目標對象,并將所述目標對象所在的區域作為所述待顯影的目標區域。
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