4.根據權利要求1或2所述的層疊膜，其中，所述氣體阻隔層是含有硅原子、氧原子和碳原子且在硅分布曲線、氧分布曲線和碳分布曲線中全部滿足條件i～iii的硅氧化物系的層，所述硅分布曲線、氧分布曲線和碳分布曲線分別表示該氣體阻隔層的膜厚方向的從該氣體阻隔層的表面起的距離與相對于硅原子、氧原子和碳原子的合計量的硅原子量的比率即硅的原子比、氧原子量的比率即氧的原子比和碳原子量的比率即碳的原子比的關系，

i：硅的原子比、氧的原子比和碳的原子比在該氣體阻隔層的膜厚的90％以上的區域中滿足式(1)表示的條件，

(氧的原子比)＞(硅的原子比)＞(碳的原子比)···(1)

ii：所述碳分布曲線具有至少1個極值，

iii：所述碳分布曲線中的碳的原子比的最大值與最小值的差的絕對值為5at％以上。