1.一種稀有氣體干燥提純裝置，包括依次連接的氣瓶組、氣液分離模塊、干燥凈化模塊和稀有氣體檢漏模塊，其特征在于：還包括用于對稀有氣體進(jìn)行高度提純的稀有氣體提純模塊，所述稀有氣體提純模塊的進(jìn)氣口與干燥凈化模塊的純化氣出口連通，所述稀有氣體提純模塊的出氣口以及所述稀有氣體檢漏模塊的出氣口分別與氣液分離模塊的進(jìn)氣口氣瓶組連通；所述氣體提純模塊用于將稀有氣體的純度提高至96-98％。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的稀有氣體干燥提純裝置，其特征在于：還包括增壓機(jī)組，氣瓶組通過增壓機(jī)組與氣液分離模塊連接；所述稀有氣體提純模塊的出氣口以及所述稀有氣體檢漏模塊的出氣口分別與增壓機(jī)組的進(jìn)氣口連通。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的稀有氣體干燥提純裝置，其特征在于：所述干燥凈化模塊的純化氣出口與稀有氣體提純模塊連通的管道上設(shè)置有控制閥門；所述控制閥門用于調(diào)節(jié)進(jìn)氣量和控制管道通斷。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的稀有氣體干燥提純裝置，其特征在于：所述氣體提純模塊包括串聯(lián)的一級、兩級或多級提純膜。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的稀有氣體干燥提純裝置，其特征在于：當(dāng)氣體提純模塊包括串聯(lián)的兩級提純膜時(shí)，所述閥門控制的進(jìn)氣量為干燥凈化模塊的純化氣出口出氣量的1/6-1/2。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的稀有氣體干燥提純裝置，其特征在于：所述氣液分離模塊包括從進(jìn)氣口依次串聯(lián)的冷卻器、重型分離器、前置過濾器和除油過濾器；所述干燥凈化模塊包括至少兩個(gè)吸附罐，當(dāng)其中一個(gè)或多個(gè)吸附罐進(jìn)行吸附時(shí)，其余吸附罐進(jìn)行再生；所述增壓機(jī)組包括低壓緩沖罐和增壓機(jī)；所述增壓機(jī)為活塞式中壓增壓機(jī)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的稀有氣體干燥提純裝置，其特征在于：還包括粉塵過濾器，設(shè)置在干燥凈化模塊和氣體檢漏室之間。

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的稀有氣體干燥提純裝置，其特征在于：所述稀有氣體為氦氣。

9.一種稀有氣體干燥提純方法，其特征在于：包括以下步驟：

1)預(yù)處理：稀有氣體進(jìn)行冷卻以初步分離水分，再經(jīng)除塵除油處理；

2)吸附干燥：預(yù)處理后的稀有氣體經(jīng)吸附劑干燥以進(jìn)一步除水；

3)再生、檢漏及提純：

對吸附劑進(jìn)行加熱再生，再生氣返回步驟1)；

吸附干燥后的干燥氣中的70-85％進(jìn)入檢漏室進(jìn)行檢漏，檢漏后的氣體返回步驟1)；

吸附干燥后的干燥氣中的剩余氣體經(jīng)一至三級提純膜提純，提純后的氣體返回步驟1)。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的稀有氣體干燥提純方法，其特征在于：所述進(jìn)入檢漏室的氣體占干燥氣的80％，所述提純膜為兩級。