1.一種基于MEMS終端式微波功率傳感器結(jié)構(gòu)的壓力傳感器，其特征在于，該壓力傳感器包括感知壓力的腔體薄膜(1)和設(shè)置在所述腔體薄膜(1)表面的終端式微波功率傳感器(2)；其中，所述終端式微波功率傳感器(2)包括并聯(lián)的第一匹配電阻(2a1)、第二匹配電阻(2a2)、共面波導(dǎo)信號(hào)線(2b1)、第一共面波導(dǎo)地線(2b2)、第二共面波導(dǎo)地線(2b3)和熱電堆(2c)；

所述第一共面波導(dǎo)地線(2b2)和所述第二共面波導(dǎo)地線(2b3)分別設(shè)置在所述共面波導(dǎo)信號(hào)線(2b1)兩側(cè)且相距一定距離；所述第一匹配電阻(2a1)布置在所述共面波導(dǎo)信號(hào)線(2b1)和所述第一共面波導(dǎo)地線(2b2)之間，所述第二匹配電阻(2a2)布置在所述共面波導(dǎo)信號(hào)線(2b1)和所述第二共面波導(dǎo)地線(2b3)之間；所述熱電堆(2c)設(shè)置在所述共面波導(dǎo)信號(hào)線(2b1)相對(duì)的位置且與其相距一定距離；

當(dāng)外界壓力發(fā)生變化時(shí)，造成腔體薄膜發(fā)生形變，導(dǎo)致薄膜內(nèi)應(yīng)力改變，由于壓阻效應(yīng)改變了匹配電阻的阻值，而這會(huì)產(chǎn)生失配，從而導(dǎo)致一部分微波功率發(fā)生反射，最終使得熱電堆輸出的熱電勢(shì)發(fā)生改變，從而實(shí)現(xiàn)壓力的測(cè)量。