本發(fā)明涉及用于蝕刻室的快速阻抗切換的變壓器耦合電容性調(diào)諧電路。用于感應(yīng)耦合等離子體(ICP)室的變壓器耦合電容性調(diào)諧(TCCT)電路包括包含第一開關(guān)電容器電路和第一電感器的匹配電路。第一開關(guān)電容器電路包括第一端子、第二端子、連接到第一端子和第二端子中的至少一個(gè)的第一電容器、連接到第一端子和第二端子中的至少一個(gè)的第二電容器、以及第一開關(guān)，該第一開關(guān)與所述第一電容器和所述第二電容器中的至少一個(gè)通信，以改變所述第一端子和所述第二端子之間的電容值。功率分配器與ICP室的匹配電路以及感應(yīng)線圈通信。

技術(shù)領(lǐng)域

本公開總體上涉及襯底處理系統(tǒng)，更具體地涉及具有用于等離子體蝕刻室的快速阻抗切換的變壓器耦合電容性調(diào)諧(TCCT)電路。

背景技術(shù)

本文所提供的背景描述是為了總體上呈現(xiàn)本公開的背景。當(dāng)前所冠名的發(fā)明人的工作，在該背景部分以及本說明書的在申請時(shí)可能沒有資格作為現(xiàn)有技術(shù)的方面中所描述的程度上，既不明確地也不隱含地承認(rèn)當(dāng)作本公開的現(xiàn)有技術(shù)。

襯底處理系統(tǒng)通常用于蝕刻諸如半導(dǎo)體晶片之類的襯底上的薄膜。蝕刻通常包括濕法化學(xué)蝕刻或干法蝕刻。可以使用通過感應(yīng)耦合等離子體(ICP)產(chǎn)生的等離子體來執(zhí)行干法蝕刻。感應(yīng)耦合等離子體可以由布置在與介電窗相鄰的處理室外部的線圈產(chǎn)生。在處理室內(nèi)流動(dòng)的處理氣體被點(diǎn)燃以產(chǎn)生等離子體。

發(fā)明內(nèi)容

一種用于感應(yīng)耦合等離子體(ICP)室的變壓器耦合電容性調(diào)諧(TCCT)電路包括匹配電路，該匹配電路包括第一開關(guān)電容器電路和第一電感器。所述第一開關(guān)電容器電路包括：第一端子；第二端子；第一電容器，其連接到所述第一端子和所述第二端子中的至少一個(gè)上；第二電容器，其連接到所述第一端子和所述第二端子中的至少一個(gè)上；以及第一開關(guān)，其與所述第一電容器和所述第二電容器中的至少一個(gè)通信(communication)，以改變所述第一端子和所述第二端子之間的電容值。功率分配器與所述匹配電路和所述ICP室的感應(yīng)線圈通信。

在其他特征中，所述第一電容器和所述第二電容器包括電動(dòng)機(jī)控制的真空電容器。所述匹配電路還包括第二開關(guān)電容器電路。所述第二開關(guān)電容器電路包括：第三端子；第四端子；連接到所述第三端子和所述第四端子中的至少一個(gè)的第三電容器；連接到所述第三端子和所述第四端子中的至少一個(gè)的第四電容器；以及第二開關(guān)，其與所述第三電容器和所述第四電容器中的至少一個(gè)通信，以改變所述第三端子和所述第四端子之間的電容值。

在其他特征中，所述第三電容器和所述第四電容器包括電動(dòng)機(jī)控制的真空電容器。所述第一端子接收RF輸入信號(hào)，所述第二端子連接到第五電容器的第一端子和所述第二開關(guān)電容器電路的所述第三端子，并且所述第二開關(guān)電容器電路的所述第四端子連接到所述第一電感器的第一端子。

在其他特征中，所述功率分配器包括第三電容器，該第三電容器具有連接到所述匹配電路的輸出的第一端子。第四電容器具有與所述第三電容器的第二端子連接的第一端子和與第一線圈通信的第二端子。第五電容器具有連接到所述匹配電路的所述輸出的第一端子。第二電感器包括與所述第五電容器的第二端子連接的第一端子。第六電容器具有與所述第二電感器的第二端子連接的第一端子和連接到第二線圈的第二端子。第七電容器連接到所述第一線圈。

在其他特征中，所述第四電容器和所述第六電容器包括開關(guān)電容器電路。所述第一開關(guān)電容器電路包括：第一端子和第二端子。所述第一電容器連接到所述第一開關(guān)電容器電路的所述第一端子。所述第二電容器連接到所述第一開關(guān)電容器電路的所述第一端子。所述第一開關(guān)連接在所述第一電容器和所述第一開關(guān)電容器電路的所述第二端子之間。第二開關(guān)連接在所述第二電容器和所述第一開關(guān)電容器電路的所述第二端子之間。

在其他特征中，所述第一開關(guān)電容器電路包括第一端子和第二端子。所述第一電容器連接到所述第一開關(guān)電容器電路的所述第一端子上。所述第二電容器連接到所述第一開關(guān)電容器電路的所述第一端子和所述第二端子。所述第一開關(guān)連接在所述第一電容器和所述第一開關(guān)電容器電路的所述第二端子之間。