[發明專利]前驅體組合物、感光性樹脂組合物、前驅體組合物的制造方法、固化膜、固化膜的制造方法及半導體器件有效
| 申請號： | 201680037218.1 | 申請日： | 2016-06-29 |
| 公開（公告）號： | CN107709408B | 公開（公告）日： | 2020-02-14 |
| 發明（設計）人： | 澀谷明規;巖井悠;川端健志;小山一郎 | 申請（專利權）人： | 富士膠片株式會社 |
| 主分類號： | C08G73/10 | 分類號： | C08G73/10;G03F7/20;C08F2/44;C08F283/04;C08F290/14;C08G73/22;G03F7/023;G03F7/027 |
| 代理公司： | 11021 中科專利商標代理有限責任公司 | 代理人： | 曹陽 |
| 地址： | 日本國*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 前驅 組合 感光性 樹脂 制造 方法 固化 半導體器件 | ||
1.一種感光性樹脂組合物，其包含前驅體組合物與光自由基聚合引發劑，所述前驅體組合物包含含有雜環的聚合物前驅體的至少一種，其中，
所述含有雜環的聚合物前驅體選自聚酰亞胺前驅體及聚苯并噁唑前驅體，
所述含有雜環的聚合物前驅體的重均分子量/數均分子量即分散度為2.5～3.1,
所述含有雜環的聚合物前驅體具有聚合性不飽和基團。
2.根據權利要求1所述的感光性樹脂組合物，其中，
所述分散度為2.8以上。
3.根據權利要求1或2所述的感光性樹脂組合物，其包含兩種以上的重均分子量及結構中的重復單元中的至少一種彼此不同的含有雜環的聚合物前驅體作為所述含有雜環的聚合物前驅體。
4.根據權利要求1或2所述的感光性樹脂組合物，其中，
所述含有雜環的聚合物前驅體的至少一種為具有由通式(1-1)所表示的重復單元的前驅體，
通式(1-1)中，A1及A2分別獨立地表示氧原子或NH，R111表示2價的有機基團，R112表示單鍵或2價的基團，R113及R114分別獨立地表示氫原子或1價的有機基團。
5.根據權利要求4所述的感光性樹脂組合物，其中，
所述A1及A2中的至少一個為氧原子。
6.根據權利要求4所述的感光性樹脂組合物，其中，
所述R112為單鍵，或選自可以被氟原子取代的碳原子數為1～10的烴基、-O-、-C(＝O)-、-S-、-SO2-及-NHCO-以及它們的組合中的基團。
7.根據權利要求1或2所述的感光性樹脂組合物，其還包含固化性化合物。
8.根據權利要求7所述的感光性樹脂組合物，其中，
所述固化性化合物包含具有烯屬不飽和鍵的化合物。
9.根據權利要求7所述的感光性樹脂組合物，其中，
所述固化性化合物為包含2個以上的烯屬不飽和基團的化合物。
10.根據權利要求1或2所述的感光性樹脂組合物，其用于形成再配線層用層間絕緣膜。
11.一種感光性樹脂組合物的制造方法，其為權利要求1至10中任一項所述的感光性樹脂組合物的制造方法，
所述感光性樹脂組合物的制造方法包括使用兩種以上的重均分子量彼此不同的含有雜環的聚合物前驅體，
所述含有雜環的聚合物前驅體選自聚酰亞胺前驅體及聚苯并噁唑前驅體。
12.一種固化膜，其使權利要求1至10中任一項所述的感光性樹脂組合物固化而成。
13.根據權利要求12所述的固化膜，其為再配線層用層間絕緣膜。
14.一種固化膜的制造方法，其包括使用權利要求1至10中任一項所述的感光性樹脂組合物。
15.根據權利要求14所述的固化膜的制造方法，其具有：
將感光性樹脂組合物應用于基板上的工序；及
將應用于基板上的感光性樹脂組合物固化的工序。
16.一種半導體器件，其具有權利要求12或13所述的固化膜。
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