本發(fā)明公開了超高真空樣品輸運(yùn)系統(tǒng)，包括超高真空樣品輸運(yùn)小車和串聯(lián)的超高真空樣品室，串聯(lián)的超高真空樣品室之間設(shè)有閘板閥片，超高真空樣品室鋪設(shè)軌道；且所述的超高真空樣品輸運(yùn)小車主要由2個(gè)超高真空樣品存儲臺，超高真空樣品存儲臺頂端均設(shè)有固定在樣品存儲臺的永磁鐵，設(shè)有隔磁金屬板隔離在2個(gè)超高真空樣品存儲臺之間，超高真空樣品輸運(yùn)小車下部設(shè)有4?6個(gè)獨(dú)特的小車導(dǎo)向輪，且小車導(dǎo)向輪在所述軌道上運(yùn)行，串聯(lián)的超高真空樣品室外表面設(shè)有驅(qū)動磁鐵。實(shí)現(xiàn)在超高真空傳送系統(tǒng)內(nèi)同時(shí)完成16塊樣品的輸運(yùn)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種超高真空儀器，特別是一種超高真空樣品輸運(yùn)系統(tǒng)與小車。

背景技術(shù)

一般來說，超高真空設(shè)備系統(tǒng)由真空泵、真空計(jì)、真空腔體及其他部件并借助于真空管道，按照一定的要求組合而成。通過這些以在一定時(shí)間內(nèi)獲得并保持特定的真空環(huán)境(超高真空環(huán)境的真空度要好于1×10^-9mbar)，確保某項(xiàng)工藝過程或者物理過程在特定的真空系統(tǒng)內(nèi)實(shí)施。超高真空系統(tǒng)在半導(dǎo)體、機(jī)械加工、物理、化學(xué)、材料和生物科學(xué)等各個(gè)領(lǐng)域都有廣泛的應(yīng)用。

在超高真空系統(tǒng)中完成樣品的制備后，為了保證樣品不受外界環(huán)境的污染，保證樣品性質(zhì)的穩(wěn)定性，通常需要在不破壞真空環(huán)境的情況下進(jìn)行樣品的原位測試和分析。目前，可以把樣品的制備系統(tǒng)與測試系統(tǒng)集成在一套超高真空系統(tǒng)中，這種系統(tǒng)需要一些存儲轉(zhuǎn)移樣品的機(jī)械來完成樣品在制備系統(tǒng)和測試系統(tǒng)之間的傳遞，使樣品的制備和分析都在同一超高真空環(huán)境中完成。但是，由于在一套系統(tǒng)中能夠集成的測試系統(tǒng)是有限的，而且只能集成一些小型的簡單的測試系統(tǒng)，因此想要更全面的測量和分析樣品的性質(zhì)，就必須把樣品從真空系統(tǒng)中取出，轉(zhuǎn)移到其他測量系統(tǒng)中進(jìn)行測試分析，在這個(gè)過程中不可避免的會接觸到空氣和粉塵，從而造成了樣品的污染，使樣品的成分和性質(zhì)發(fā)生變化，甚至使樣品完全被破壞。

為了實(shí)現(xiàn)樣品的準(zhǔn)確測量，人們想到了很多的辦法來保護(hù)樣品，例如：現(xiàn)在真空腔體內(nèi)通入惰性氣體做保護(hù)氣體，再將樣品取出并快速放入干凈的真空箱中；或者現(xiàn)在樣品上鍍上一層保護(hù)膜再取出等等。但是大都操作復(fù)雜，而且每種方法都必須開腔取樣，使樣品暴露在非真空環(huán)境，對樣品造成一定程度的污染。

目前，還沒有能夠在不破壞超高真空環(huán)境的情況下，在完成一組(16個(gè))樣品的制備存儲的同時(shí)，實(shí)現(xiàn)樣品在不同超高真空系統(tǒng)內(nèi)轉(zhuǎn)移傳遞功能的設(shè)備。

發(fā)明型內(nèi)容

本發(fā)明目的是，解決如下技術(shù)問題，提供一種超高真空樣品輸運(yùn)小車，該小車可以保證一組(16個(gè))樣品在超高真空傳送(輸運(yùn))系統(tǒng)內(nèi)運(yùn)動，樣品從一個(gè)超高真空系統(tǒng)轉(zhuǎn)移到其他多個(gè)超高真空系統(tǒng)的過程中，一組(16個(gè))樣品時(shí)刻處于超高真空環(huán)境中。

本發(fā)明的技術(shù)方案是，超高真空樣品輸運(yùn)系統(tǒng)，包括超高真空樣品輸運(yùn)小車和串聯(lián)的超高真空樣品室，串聯(lián)的超高真空樣品室之間設(shè)有閘板閥片，超高真空樣品室鋪設(shè)軌道；且所述的超高真空樣品輸運(yùn)小車主要由2個(gè)超高真空樣品存儲臺，超高真空樣品存儲臺頂端均設(shè)有固定在樣品存儲臺的永磁鐵，設(shè)有隔磁金屬板隔離在2個(gè)超高真空樣品存儲臺之間，超高真空樣品輸運(yùn)小車下部設(shè)有4-6個(gè)獨(dú)特的小車導(dǎo)向輪，且小車導(dǎo)向輪在所述軌道上運(yùn)行，串聯(lián)的超高真空樣品室外表面設(shè)有驅(qū)動磁鐵。

串聯(lián)的超高真空樣品室即真空互聯(lián)系統(tǒng)上設(shè)有驅(qū)動磁鐵5，驅(qū)動磁鐵5驅(qū)動存儲臺的永磁鐵，從而輸運(yùn)小車在系統(tǒng)內(nèi)平滑的運(yùn)動到指定位置，轉(zhuǎn)動磁鐵5亦驅(qū)動小車上的樣品存儲臺轉(zhuǎn)動，通過樣品傳送裝置依次將樣品轉(zhuǎn)移到指定的系統(tǒng)內(nèi)，完成后續(xù)的實(shí)驗(yàn)操作。

優(yōu)選地，所述2個(gè)樣品存儲平臺，每個(gè)樣品存儲臺是一個(gè)八面體結(jié)構(gòu)，2個(gè)樣品存儲平臺可以同時(shí)裝載16塊樣品進(jìn)行輸運(yùn)。

優(yōu)選地，所述2個(gè)固定在樣品存儲臺的永磁鐵實(shí)現(xiàn)超高真空樣品小車在傳送系統(tǒng)內(nèi)的運(yùn)動，同時(shí)，樣品存儲臺通過旋轉(zhuǎn)軸安裝在樣品小車上，可以實(shí)現(xiàn)樣品存儲臺360°的自由旋轉(zhuǎn)，完成樣品的裝載。