[發明專利]半導體刻蝕設備的鐘擺閥鎖環組件及其鎖環手柄延長治具在審
| 申請號： | 201611075499.8 | 申請日： | 2016-11-30 |
| 公開（公告）號： | CN106523780A | 公開（公告）日： | 2017-03-22 |
| 發明（設計）人： | 楊保勛;季高明;劉東升;呂煜坤;朱駿;張旭升 | 申請（專利權）人： | 上海華力微電子有限公司 |
| 主分類號： | F16K35/00 | 分類號： | F16K35/00;F16K31/60 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙)31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 半導體 刻蝕 設備 鐘擺 閥鎖環 組件 及其 手柄 延長 | ||
【說明書】：
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