[發明專利]顯影方法及系統有效
| 申請號： | 201610566567.4 | 申請日： | 2016-07-18 |
| 公開（公告）號： | CN105954983B | 公開（公告）日： | 2019-11-08 |
| 發明（設計）人： | 羅麗平;劉明懸;張小祥;劉會雙;孫增標;李偉 | 申請（專利權）人： | 京東方科技集團股份有限公司;北京京東方顯示技術有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/30 | 分類號： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 北京三高永信知識產權代理有限責任公司 11138 | 代理人： | 滕一斌 |
| 地址： | 100015 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 顯影 方法 系統 | ||
【權利要求書】：
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