[發(fā)明專利]通過浸入式光刻機(jī)進(jìn)行光刻的方法在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201610555452.5 | 申請(qǐng)日： | 2016-07-13 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN105974749A | 公開（公告）日： | 2016-09-28 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 呂耀安 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 無錫宏納科技有限公司 |
| 主分類號(hào)： | G03F7/20 | 分類號(hào)： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 無錫華源專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 32228 | 代理人： | 聶漢欽 |
| 地址： | 214000 江蘇省無錫市新區(qū)清源路*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 通過 浸入 光刻 進(jìn)行 方法 | ||
【權(quán)利要求書】：
下載完整專利技術(shù)內(nèi)容需要扣除積分，VIP會(huì)員可以免費(fèi)下載。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于無錫宏納科技有限公司，未經(jīng)無錫宏納科技有限公司許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請(qǐng)聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.17sss.com.cn/pat/books/201610555452.5/1.html，轉(zhuǎn)載請(qǐng)聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
- 上一篇：分流式井下混配器
- 下一篇：高溫高壓逐級(jí)坐封解封可控式封隔器
- 同類專利
- 專利分類
G03 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)
G03F 圖紋面的照相制版工藝，例如，印刷工藝、半導(dǎo)體器件的加工工藝；其所用材料；其所用原版；其所用專用設(shè)備
G03F7-00 圖紋面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工藝；圖紋面照相制版用的材料，如：含光致抗蝕劑的材料；圖紋面照相制版的專用設(shè)備
G03F7-004 .感光材料
G03F7-12 .網(wǎng)屏印刷模或類似印刷模的制作，例如，鏤花模版的制作
G03F7-14 .珂羅版印刷模的制作
G03F7-16 .涂層處理及其設(shè)備
G03F7-20 .曝光及其設(shè)備
G03F 圖紋面的照相制版工藝，例如，印刷工藝、半導(dǎo)體器件的加工工藝；其所用材料；其所用原版；其所用專用設(shè)備
G03F7-00 圖紋面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工藝；圖紋面照相制版用的材料，如：含光致抗蝕劑的材料；圖紋面照相制版的專用設(shè)備
G03F7-004 .感光材料
G03F7-12 .網(wǎng)屏印刷模或類似印刷模的制作，例如，鏤花模版的制作
G03F7-14 .珂羅版印刷模的制作
G03F7-16 .涂層處理及其設(shè)備
G03F7-20 .曝光及其設(shè)備
- 請(qǐng)求沒有進(jìn)行IMS注冊(cè)的用戶進(jìn)行注冊(cè)的方法
- 對(duì)要進(jìn)行紋理操作的像素進(jìn)行分組
- 對(duì)餐盤進(jìn)行溫度調(diào)節(jié)和進(jìn)行分配的獨(dú)立小車
- 對(duì)圖像進(jìn)行編碼
- 對(duì)任務(wù)進(jìn)行調(diào)度
- 對(duì)任務(wù)進(jìn)行調(diào)度
- 蛋糕（甜蜜進(jìn)行時(shí)）
- 對(duì)定位輔助數(shù)據(jù)進(jìn)行分級(jí)和分組以進(jìn)行廣播
- 對(duì)物體進(jìn)行分離和定向以進(jìn)行供料
- 對(duì)工件進(jìn)行評(píng)價(jià)以進(jìn)行加工的方法
