[發明專利]一種平行出光紫外光曝光系統及曝光機在審
| 申請號: | 201610143619.7 | 申請日: | 2016-03-14 |
| 公開(公告)號: | CN105589302A | 公開(公告)日: | 2016-05-18 |
| 發明(設計)人: | 霍錦充 | 申請(專利權)人: | 東莞王氏港建機械有限公司 |
| 主分類號: | G03F7/20 | 分類號: | G03F7/20 |
| 代理公司: | 廣東莞信律師事務所 44332 | 代理人: | 曾秋梅 |
| 地址: | 523000*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 平行 紫外光 曝光 系統 | ||
1.一種平行出光紫外曝光系統,其特征在于,包括:
光源組件,用于提供UV-LED光源并發出紫外線光;
聚光器,用于接收并會聚紫外線光;
快門,用于控制曝光時間及曝光量;
曲鏡,用于將接收的紫外線光進行反射后平行入射至設于曝光臺表面以進 行曝光;
所述的光源組件包括多個UV-LED光源,且該多個UV-LED光源全部向聚光 器照射,并經過聚焦,將能量投射至聚光器上。
2.根據權利要求1所述的平行出光紫外曝光系統,其特征在于,所述的 快門包括一偏光板式快門單元、一開合式快門單元、一履帶卷動式快門單元、 一百葉窗式快門單元或一旋轉式快門單元。
3.根據權利要求1-2任一所述的平行出光紫外曝光系統,其特征在于, 所述的聚光器設于光源組件與快門之間,或設于所述快門與曲鏡之間,并置 于紫外線光的光路徑中,所述的曲鏡設于曝光臺的上方及/或下方。
4.根據權利要求1所述的平行出光紫外曝光系統,其特征在于,該平行 出光紫外曝光系統采用單一光源組件或雙光源組件,每一光源組件對應的設 有包括聚光器、快門、曲鏡的一組光學元器件,以將紫外線光最終平行入射 至設于曝光臺上底片及干膜的上表面或下表面或上下表面進行曝光。
5.根據權利要求1所述的平行出光紫外曝光系統,其特征在于,該平行 出光紫外曝光系統采用單一光源組件,還包括一翻轉鏡,所述的翻轉鏡設于 所述的快門與所述的曝光工作臺之間。
6.根據權利要求1所述的平行出光紫外曝光系統,其特征在于,該平行 出光紫外曝光系統采用單一光源組件,還包括一分束鏡,所述的分束鏡設于 所述的快門與所述的曝光工作臺之間。
7.根據權利要求1所述的平行出光紫外曝光系統,其特征在于,該平行 出光紫外曝光系統采用雙光源組件,所述的雙光源組件由鏡面對稱設置的所 述光源組件構成,該雙光源組件發出的紫外線光經置于光路徑中的聚光器、 快門、曲鏡的作用實現對設于曝光臺上的底片進行雙面曝光。
8.一種曝光機,包括平行出光紫外曝光系統、曝光工作臺及容納所述曝 光工作臺和所述曝光系統的曝光室,其特征在于,所述的平行出光紫外曝光 系統包括用于提供UV-LED光源并發出紫外線光的光源組件,用于接收并會聚 紫外線光的聚光器,用于控制曝光時間及曝光量的快門,用于將接收的紫外 線光進行反射后平行入射至設于曝光臺上的底片及干膜的表面以進行曝光的 曲鏡,其中所述的光源組件包括多個UV-LED光源,且該多個UV-LED光源全 部向聚光器照射,將能量投射至聚光器上;該平行出光紫外曝光系統采用單 一光源組件或雙光源組件。
9.根據權利要求8所述的曝光機,其特征在于,所述的平行出光紫外曝 光系統采用單一光源組件,還包括設于所述的快門與所述的曝光工作臺之間 的一分束鏡。
10.根據權利要求8所述的曝光機,其特征在于,所述的平行出光紫外 曝光系統采用單一光源組件,還包括設于所述的快門與所述的曝光工作臺之 間的一翻轉鏡。
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