1.一種三維微納米觸發(fā)式探頭，其特征是由測(cè)頭單元和測(cè)量單元構(gòu)成：

所述測(cè)頭單元是在圓環(huán)座(10a)上設(shè)置呈“十”字的簧片(10c)，所述簧片(10c)的各懸臂的遠(yuǎn)端與圓環(huán)形簧片外圈形成整體，并以所述圓環(huán)形簧片外圈與圓環(huán)座(10a)固定連接；在所述簧片(10c)的上表面、處在簧片(10c)的中心固定設(shè)置呈“十”字的懸浮片(10b)，形成懸浮片(10b)在圓環(huán)座(10a)上的懸浮結(jié)構(gòu)；在所述懸浮片(10b)的上端面分別固定設(shè)置第一分光反射棱鏡(9a)、第二分光反射棱鏡(9b)和楔形棱鏡(9c)，在所述懸浮片(10b)和簧片(10c)的中心貫通孔中固定安裝探針(10e)，所述探針(10e)凸伸于懸浮片(10b)的下端面，探針(10e)的前端為測(cè)球(10d)；所述第一分光反射棱鏡(9a)和第二分光反射棱鏡(9b)均為非偏振分光反射棱鏡；

所述測(cè)量單元的光路結(jié)構(gòu)為：激光器(3a)呈水平發(fā)射出的準(zhǔn)直光依次經(jīng)過第一平面反射鏡(4a)和第二平面反射鏡(5a)的反射后呈水平投射至第一分光反射棱鏡(9a)，在所述第一分光反射棱鏡(9a)中形成的反射光作為第一光束投射至第三四象限探測(cè)器(8a)；在所述第一分光反射棱鏡(9a)中形成的透射光投射至第二分光反射棱鏡(9b)，在所述第二分光反射棱鏡(9b)中形成的透射光作為第二光束投射至第二四象限探測(cè)器(7a)；在所述第二分光反射棱鏡(9b)中形成的反射光投射至楔形棱鏡(9c)，在所述楔形棱鏡(9c)中形成透射光作為第三光束投射至第一四象限探測(cè)器(6a)，利用所述第三四象限探測(cè)器(8a)、第二四象限探測(cè)器(7a)和第一四象限探測(cè)器(6a)獲得測(cè)球(10d)的位移信號(hào)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三維微納米觸發(fā)式探頭，其特征是：所述楔形棱鏡(9c)粘貼在所述第二分光反射棱鏡(9b)的側(cè)部。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三維微納米觸發(fā)式探頭，其特征是：設(shè)置所述探頭的殼體為圓筒體(1)，在所述圓筒體(1)中以隔板分區(qū)為上腔(1b)和下腔(1c)；

所述激光器(3a)設(shè)置在上腔(1b)中，并利用激光器支架(3b)固定在隔板上；

所述第一平面反射鏡(4a)利用第一平面反射鏡支架(4b)固定設(shè)置在上腔(1b)的側(cè)壁上；

所述第二平面反射鏡(5a)利用第二平面反射鏡支架(5b)固定設(shè)置在下腔(1c)的側(cè)壁上；

所述測(cè)頭單元以其圓環(huán)座(10a)固定設(shè)置在所述圓筒體(1a)的底部端口上；

第一四象限探測(cè)器(6a)、第二四象限探測(cè)器(7a)和第三四象限探測(cè)器(8a)一一對(duì)應(yīng)地利用第一探測(cè)器支架(6b)、第二探測(cè)器支架(7b)和第三探測(cè)器支架(8b)安裝在下腔(1c)的側(cè)壁上。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的三維微納米觸發(fā)式探頭，其特征是：包括第一探測(cè)器支架(6b)、第二探測(cè)器支架(7b)和第三探測(cè)器支架(8b)的各個(gè)探測(cè)器支架的固定結(jié)構(gòu)為：所述探測(cè)器支架是由分處在探測(cè)器支架不同圓周位置上的第一緊定螺釘和第二緊定螺釘鎖定在下腔(1c)的側(cè)壁上；并且在所述探測(cè)器支架的一側(cè)與下腔(1c)的側(cè)壁之間設(shè)置分處在不同位置上的第一彈簧墊圈和第二彈簧墊圈，分別調(diào)整所述第一彈簧墊圈和第二彈簧墊圈的松緊程度實(shí)現(xiàn)探測(cè)器支架相應(yīng)的空間位置的調(diào)整。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的三維微納米觸發(fā)式探頭，其特征是：在所述探測(cè)器支架上設(shè)置有凸棱，在所述下腔(1c)的內(nèi)側(cè)壁上對(duì)應(yīng)位置處設(shè)置有凹槽，以所述凸棱和凹槽的配合實(shí)現(xiàn)探測(cè)器支架在下腔(1c)中一個(gè)方向上的限位。