[發明專利]多工位組合式晶棒加工設備有效
| 申請號: | 201610074924.5 | 申請日: | 2016-02-02 |
| 公開(公告)號: | CN105538112B | 公開(公告)日: | 2018-12-11 |
| 發明(設計)人: | 盧建偉 | 申請(專利權)人: | 天通日進精密技術有限公司 |
| 主分類號: | B24B27/00 | 分類號: | B24B27/00;B24B41/00;B24B41/06;B28D5/04;B28D7/00 |
| 代理公司: | 浙江杭州金通專利事務所有限公司 33100 | 代理人: | 王麗丹 |
| 地址: | 314400 浙江省嘉興*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 多工位 組合式 加工 設備 | ||
1.一種多工位組合式晶棒加工設備,其特征在于,包括:
晶棒切割單元,用于將晶棒工件切割為第一預設形狀,所述第一預設形狀包括:截面為具有倒角的多邊形的棒體;
晶棒輸送單元,呈圓盤形或圓環形且能旋轉運動以輸送晶棒工件;所述晶棒是以長度方向沿上下方向豎立設置的;
設置于所述晶棒輸送單元的輸送行程上的至少第一工位及第二工位,所述第一工位設置有表面研磨單元,所述第二工位設置有滾圓/倒角研磨單元;
晶棒移送單元,用于將通過所述晶棒切割單元切割后的所述晶棒工件移送至所述晶棒輸送單元以及將隨所述晶棒輸送單元運動而經所述第一工位及所述第二工位進行加工后的所述晶棒工件移出所述晶棒輸送單元;
所述晶棒輸送單元的輸送行程上還設置有空位;
所述空位,用于作為所述輸送行程的起點而接納晶棒移送單元所移送來的進行切割后的晶棒工件,以供所述晶棒輸送單元將其向下一工位輸送;
所述空位,還用于作為所述輸送行程的終點而接納經歷所述各工位的加工后的晶棒工件,以供所述晶棒移送單元將其移出所述晶棒輸送單元;
所述晶棒輸送單元的空位設置有用于定位工件的定位單元,所述定位單元一端至少能上、下滑動地連接于設在所述設備殼體的縱向延伸的滑移結構;所述定位單元另一端形成一對爪部,用于抓握移送過來的晶棒工件以定位;
所述晶棒輸送單元包括:
圓盤形或圓環形本體,其圓弧形的周側表面設有齒帶;
驅動電機及連接所述驅動電機而受所述驅動電機驅動的聯動結構,所述聯動結構包括嚙合所述齒帶的轉動齒輪;
所述晶棒輸送單元在對應晶棒工件的承載表面設有承載各所述晶棒工件且與各工位一一對應的多個承載臺;所述承載臺是能自轉運動的;所述承載臺與所述晶棒工件的接觸面具有阻尼力,以提供帶動所述晶棒工件自轉的摩擦力;
其特征在于,所述表面研磨單元包括:
第一容納空間,用于接納由所述晶棒輸送單元輸送來的所述晶棒工件;
至少一砂輪組件,設置于所述第一容納空間;所述第一容納空間內設有橫向設置的供所述砂輪組件套接的能旋轉的單軸或雙軸,所述單軸或雙軸與所述第一容納空間的豎側壁設有的縱向滑動導引結構間能相對滑動地結合以令各砂輪組件能縱向運動,用于研磨所述第一容納空間中能進行自轉運動的所述晶棒工件的各個第一豎側面,所述第一豎側面是與所述晶棒工件的多邊形截面上倒角以外各邊對應的豎側面。
2.根據權利要求 1所述的多工位組合式晶棒加工設備,其特征在于,每個砂輪組件包括:內外套接在同一所述單軸或雙軸的粗磨砂輪及精磨砂輪,所述粗磨砂輪和精磨砂輪中的至少一者是能相對另一者沿所述單軸或雙軸向運動的。
3.根據權利要求 1 所述的多工位組合式晶棒加工設備,其特征在于,所述滾圓/倒角研磨單元包括:
第二容納空間,用于接納輸送來的晶棒工件;
至少一對磨輪,設置于所述第二容納空間,所述第二容納空間內設有橫向設置的供所述各磨輪套接的能旋轉的單軸或雙軸,所述單軸或雙軸與所述第二容納空間豎側壁設有的縱向滑動導引結構間能相對滑動地結合以令各磨輪能縱向運動;且所述一對磨輪在縱向及橫向上相互錯位地分置于所述第二容納中間中的晶棒工件兩側,用于以研磨所述第二容納空間中旋轉狀態下的晶棒工件上與其多邊形截面倒角對應的豎側面。
4.根據權利要求 1 所述的多工位組合式晶棒加工設備,其特征在于,還包括:設置于所述晶棒輸送單元的輸送行程上的第三工位,所述第三工位設置有表面拋光單元。
5.根據權利要求 4 所述的多工位組合式晶棒加工設備,其特征在于,所述表面拋光單元包括:
第三容納空間,用于接納輸送來的晶棒工件;
至少一環形的毛刷,設置于所述第三容納空間;所述第三容納空間內設有橫向設置的供所述各毛刷套接的能旋轉的單軸或雙軸,所述單軸或雙軸與所述第三容納空間豎側壁設有的縱向滑動導引結構間能相對滑動地結合以令各毛刷能縱向運動,用于拋光所述第三容納空間中旋轉狀態下的晶棒工件的各個豎側面。
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